판매용 중고 KLA / TENCOR 0116358-001-REV A #9292424

KLA/TENCOR 0116358-001-REV A 는 높은 수준의 품질이 비용 효율적인 방식으로 충족되도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학 검사 헤드 (Optical Inspection Head), 소프트웨어 제어 웨이퍼 및 레티클 처리 장치 (Reticle Handling Unit), 통합 해석 평가기 (Integrated Interpretive Evaluation Machine) 등 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 광학 검사 헤드는 브라이트필드 (brightfield) 와 다크필드 (darkfield) 조명을 모두 사용하여 반도체 웨이퍼와 회로 패턴 레이어 모두에 대한 상세한 시각적 분석을 제공합니다. 이미지는 고해상도 CCD 카메라로 캡처되며 결함의 전장 검출 (full-field detection) 을 위한 특수 검사 알고리즘으로 분석됩니다. 또한, 85mm 초감응 렌즈는 가장 작은 결함조차도 빨리 감지 할 수있는 기능을 제공합니다. 웨이퍼 및 레티클 처리 도구 (Wafer and Reticle Handling Tool) 에는 웨이퍼와 레티클 주위를 정확하게 이동하는 모든 기능을 갖춘 워크스테이션 (Workstation) 이 포함되어 있으며, 단일 웨이퍼와 여러 웨이퍼에서 균일성 스캐닝 동작을 배치합니다. 이렇게 하면 웨이퍼 및 레티클의 모든 부분을 정확하고 효율적으로 검사할 수 있습니다. 마지막으로 자산에는 통합 해석 평가 모델이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 검사 결과를 검토하고 자세한 출력 보고서를 생성할 수 있습니다. 따라서 문제를 파악하고, 수정하고, 높은 수준의 품질이 일관되게 실현될 수 있습니다. 요약하자면, KLA 0116358-001-REV A는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 브라이트필드 (brightfield) 와 다크필드 조명 (darkfield illumination) 을 활용하여 반도체 웨이퍼와 회로 패턴 레이어 모두에 대한 시각적 분석을 제공합니다. 정밀 포지셔닝 및 처리 시스템 (Precision Positioning and Handling System) 과 통합 해석 평가 장치 (Integrated Interpretive Evaluation Unit) 를 통해 검사 결과를 손쉽게 검토하고 신속하고 경제적인 결함을 파악하고 수정할 수 있습니다.