판매용 중고 KLA / ICOS CI-T130 #9202297

KLA/ICOS CI-T130은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 단일 자동 플랫폼에서 집적 회로 감광 마스크, 웨이퍼, 테이프를 검사하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 높은 처리량, 탁월한 정확도, 탁월한 반복성, 탁월한 결함 감지, 그리고 이러한 표면의 결함을 신속하게 파악하고 판별할 수 있도록 설계되었습니다. KLA CI-T130의 핵심 기술은 통합 검사 엔진입니다. 이 제품은 다양한 전기 이미징 (electrical imaging), 물리적 이미징 (physical imaging), 광학 이미징 (optical imaging) 기술을 결합하여 감지되지 않는 결함을 감지하고 특성화합니다. 온보드 광학 현미경은 고해상도 검사 및 이미징 기능을 제공합니다. 이 장치는 솔리드 스테이트 레이저 (solid-state laser) 를 사용하여 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 에 존재하는 패턴 및 크기의 미묘한 차이를 감지하기 위해 피쳐 모서리에 중점을 둡니다. 이 기계에는 결함 검사, 분석, 보정을 지원하는 고급 소프트웨어, 알고리즘, 도구가 포함되어 있습니다. 유연한 검사 모드를 통해 개별 워크플로에 대한 검사를 손쉽게 프로그래밍하고 사용자 정의할 수 있습니다 (영문). 또한 높은 처리량을 제공하며 시간당 800 개 이상의 웨이퍼 또는 마스크를 처리 할 수 있습니다. ICOS CI-T130은 고유 한 결함 검토 기술을 사용하여 잘못된 경보에서 오류를 식별합니다. 이 기술은 웨이퍼 (Wafer) 또는 마스크 (Mask) 결함 이미지를 분석하여 전통적인 결함이 가까이 있을 때에도 결함을 신속하게 파악하고 식별합니다. 이를 통해 가장 작은 결함조차도 성공적으로 식별 할 수 있으며, 이는 생산의 정확성에 필수적입니다. 또한 자동 결함 엔지니어링 툴 (automated defect engineering tools) 을 통해 수리 및 디버그 작업을 돕고 엔지니어링 정보를 제공합니다. 이 도구는 KLA 예측 분석 및 기타 고급 감지 (advanced detection) 기능으로 잠재적 결함을 식별합니다. 고급 디지털 알고리즘 (advanced digital algorithm) 과 결함을 특성화하여 빠르고 정확하게 식별할 수 있는 툴이 포함되어 있습니다. 또한 생산 프로세스를 최적화하기 위해 고급 도량형 서비스 (Advanced Metrology Services) 를 제공하여 웨이퍼 매개변수를 측정 및 분석할 수 있습니다. 전반적으로 CI-T130은 업계 최고의 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 자산으로, 최대 생산성 및 생산량을 보장합니다. 고급 검사 엔진, 유연한 검사 모드, 결함 검토 기술은 업계 최고의 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 또한 운영 프로세스를 최적화하는 강력한 분석 및 도량형 기능을 제공합니다.