판매용 중고 KLA / ICOS CI-T120 #9360770

KLA/ICOS CI-T120은 양방향 조명을 활용하여 정확한 측정 및 결함을 감지하는 고정밀 웨이퍼 및 마스크 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크와 웨이퍼를 검사하는 데 있어 업계 최고의 정확성과 속도를 제공합니다. KLA CI T120은 최고 정확도와 두께를 측정하기 위해 2 축 이미징 ('상승 및 감소 된 디포커스') 을 사용하는 중앙 이미징 머신을 제공하는 고급 광학 장치 설계를 갖추고 있습니다. 이 도구는 자동 결함 분류를 통해 마스크 (mask) 또는 웨이퍼 (wafer) 표면의 스크래치, 오염 물질, 기타 결함 등의 입자와 결함을 한 단계에서 감지할 수 있습니다. ICOS CI T-120은 또한 웨이퍼 및 마스크 이미징에 영향을 줄 수있는 환경 요인을 모니터링하고 보상하는 환경 컨디셔닝 시스템을 갖추고 있습니다. 이 자산은 고급 광학 엔지니어링 (Advanced Optical Engineering) 을 통해 환경 조건이 크게 줄어들어 이미지가 더 어려운 상황에서도 선명하게 유지되므로 탁한 환경에서 탁월한 성능을 제공합니다. 이 모델은 고속 선형 스캐닝 (linear scanning) 을 통해 빠른 데이터 입수를 가능하게 하며, 처리량에 미치는 영향을 최소화하면서 고품질 이미지를 제공합니다. CI T120 은 또한 고급 모듈식 설계를 통해 부품 유지 관리 및 교체를 최적화합니다. ICOS CI-T120에는 마스크 검사, 웨이퍼 검사, 결함 검사, 중요 치수 측정, 3D 깊이 측정 등의 다양한 검사 기능이 있습니다. 저용에서 대용량, 그리고 고장 분석 (failure analysis) 애플리케이션에 사용될 수 있습니다. CI-T120 장비는 탁월한 정확성과 결함 감지를 제공하므로 마스크 및 웨이퍼 검사에 이상적입니다. 이 시스템은 처리량이 최소화되어 고속 (High Speed) 데이터 입수를 지원하므로 디바이스 수익률이 향상됩니다. 모듈식 설계는 부품 유지 관리 및 교체를 용이하게 하며, 최대 단위의 가동 시간을 보장합니다. 고급 환경 조건화 기계는 가혹한 상황에서도 명확한 이미지를 보장합니다. 이 툴은 또한 다양한 검사 기능을 제공하여 저용량 (low-to-high-volume) 생산에 이상적입니다.