판매용 중고 KLA / ICOS CI-T120 #9246691

ID: 9246691
Inspection system.
KLA/ICOS CI-T120은 리소그래피 프로세스 제어를 위해 설계된 정교한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 또한 중요한 도량형 데이터를 제공하여 부품 수율, 품질, 비용 관리 능력을 향상시킬 수 있습니다. KLA CI T120은 다양한 프로세스 레이어에서 마스크 데이터, 레티클, 개별 필드 및 전체 웨이퍼 레벨 패턴을 분석 할 수있는 최첨단 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. 이 포괄적 인 시스템은 1 배 및 2 배 레티클을 포함하여 fabs에 사용 된 다양한 기판을 고려하며, 0.25 ~ 0.45 m의 다양한 해상도로 생산됩니다. 독점적 인 고급 알고리즘을 사용하여 ICOS CI T-120을 사용하면 결함, 결함, 설계 된 요소와 그 크기, 피치, 광학 밀도, 기하학적 매개변수, 소스 유형 및 기타 관련 매개변수를 전통적인 광학 레벨 검사용으로 비교할 수 있습니다. 또한 KLA CI-T120은 빠르고 정확한 광 검사 기능 (예: 중첩, 에지 배치, 솔더 마스크, 등록) 을 제공하며, 중요한 프로세스 검사 외에 다양한 고급 기능을 제공합니다. 또한 이 장치를 사용하면 프로세스 내에서 문제를 신속하게 파악하고 식별할 수 있습니다. 즉, 조정 (calibration) 을 통해 개선할 수 있습니다. KLA/ICOS CI T-120은 또한 프로세스 변형 및 기판 차이에 매우 관대합니다. 즉, 0.001% 의 낮은 농도로 프로세스 변화를 식별 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 0.1 미크론 (미크론) 정도의 결함을 감지 할 수 있으며, 광범위한 보고 기능을 제공합니다. CI T120 은 비용 효율적이고 신뢰할 수 있는 마스크, 웨이퍼 검사 자산을 찾는 사람들에게 이상적인 툴입니다. 견고한 프로세스 제어를 통해 사용자는 수익률을 일관되게 유지할 수 있고, 견고한 설계는 낮은 TCO (소유 비용) 를 제공하며, 유연한 검사 기능은 상당한 ROI (투자 수익) 를 제공합니다.
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