판매용 중고 KLA / ICOS CI-T120 #9232196

ID: 9232196
빈티지: 2007
Inspection system 2007 vintage.
KLA/ICOS CI-T120은 차세대 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 무중단 광학 및 전기 검사를 위한 고급 기능을 제공합니다. 고속, 대형 광학 검사 시스템을 갖춘 KLA CI T120은 마스크와 웨이퍼 웨이퍼, 다이 모두에서 발견 할 수없는 결함을 신속하게 감지 할 수 있습니다. ICOS CI T-120에는 여러 고급 기능이 있어 마스크 및 웨이퍼 웨이퍼를 검사하는 데 이상적인 솔루션입니다. 이 장치는 고해상도 이미징을 위해 16k 광학 어레이가있는 최첨단 광학 미세 리토 그래피 머신 (optical microlithography machine) 을 사용하여 기계 비전 솔루션을 사용할 수 있습니다. 또한, 이 툴에는 초고속 분석 및 보고 기능을 제공하는 강력한 컴퓨터 프로세서가 장착되어 있습니다. KLA CI-T120은 밝은 필드 이미징, 다크 필드 이미징, 전자 현미경 및 X- 선 회절 등 광범위한 검사 기술을 제공합니다. 이러한 기술로, 분리 된 결함, 브리징 결함, 반바지, 핀홀 및 잔기와 같은 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한, overetching 및 undercuting과 같은 프로세스 관련 결함을 감지 할 수도 있습니다. 클라라 (KLA) 에는 검사 후 검토 시간을 줄이기 위한 자동 분석 및 보고 기능도 포함되어 있습니다. 강력한 소프트웨어 플랫폼과 더불어, 신뢰성 있고, 고속 스캐닝 (scanning) 및 이미지 인식 (image recognition) 알고리즘을 통해 자동화된 결함 검토 및 보고 기능을 제공합니다. 또한, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 사용자는 신속하게 결함을 식별하고 분석 할 수 있습니다. KLA CI T-120은 마스크 및 웨이퍼 웨이퍼를 모두 검사하려는 제조업체의 경제적 옵션입니다. CI T-120 은 고급 기능 체계 (feature set) 와 경제적인 비용 (economical cost) 으로 경쟁업체에 앞서고 싶은 제조업체에 이상적인 옵션입니다.
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