판매용 중고 KLA / ICOS CI-T120 #9229540
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판매
ID: 9229540
빈티지: 2005
Inspection system
Inspection: QFP, BGA & QFN
Lens size for bottom: 2D and 3D Rotary
Lens size for top mark: 35 mm
2005 vintage.
KLA/ICOS CI-T120은 마스크 및 웨이퍼 검사를 모두 수행하도록 설계된 자동 광학 검사 (AOI) 장비입니다. 이 "시스템 '은 광원, 광학, 영상" 카메라' 와 같은 검사 과정 에 필요 한 모든 구성 요소 가 들어 있는 소형 장치 로 구성 되어 있다. 이 장치에는 63 배의 오브젝티브 렌즈가 장착되어 있으며 최대 1.2 m의 고해상도 이미징이 가능합니다. 기계에 사용되는 반음계 스캔 기술 (chromatic scan technology) 은 뛰어난 패턴 인식 기능과 높은 결함 탐지율을 갖추고 있습니다. 렌즈의 초점을 지속적으로 조정하기 위해 자동 초점 기능 (auto-focus function) 이 활성화되어 선명하고 정확한 이미지 입수를 보장합니다. 검사 과정은 이미징 도구 (Imaging Tool) 를 통과할 때 개체의 위쪽과 아래쪽에서 광원 조사 각도 (Light Source irradiation angle) 를 균등화하여 수행됩니다. 이것은 정확하고 정확한 검사를 가능하게하기 위해 균일 한 그림자를 만듭니다. 새로 구성 된 Z 모터는 정확하고 정확한 이미징을 위해 웨이퍼 기울기를 보상합니다. 에셋은 또한 웨이퍼 결함을 감지하는 몇 가지 내장 알고리즘을 가지고 있는데, 이 알고리즘은 컴포넌트 추적 가능성 (component traceability) 을 돕고 사용자에게 포괄적인 결함 데이터를 제공합니다. KLA CI T120의 고유 한 기능을 사용하면 결함 왜곡 분석 및 3D 이미징 (imaging) 을 제공하여 표면 결함을 식별할 때 높은 수율과 정확성을 얻을 수 있습니다. ICOS CI T-120은 또한 포괄적인 연결을 가지고 있습니다. 이더넷, USB, 이더넷 및 opto-Isolator I/O 기능을 제공하여 시스템에 원격 액세스 및 유지 보수를 허용하는 사용자 인터페이스를 제공합니다. 또한 공인 직원만이 액세스 할 수 있으므로 모델 무결성을 보장합니다. 또한 유지 보수 시간을 단축하기 위해 원격으로 문제를 신속하게 진단하고 문제를 해결할 수 있는 진단 (Diagnostics) 기능이 내장되어 있습니다. KLA CI-T120은 효율적이고 고성능 마스크, 웨이퍼 검사 장비를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다. 컴팩트한 크기와 결합된 정교한 옵틱스 (Optic) 와 이미징 (Imaging) 기능을 통해 모든 시설에 이상적인 선택이 가능합니다. 자동 초점 (auto-focus) 및 결함 탐지 알고리즘 (defect detection algorithm) 과 같은 시스템의 고급 기능은 품질 제어를 강화하고 생산 낭비를 제거하기위한 필수 도구입니다.
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