판매용 중고 KLA / ICOS CI-T120 #293662323
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KLA/ICOS CI-T120은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 반도체 업계에서 결함, 긁힘, 오염 및 기타 광학 불규칙성에 대한 photomask 및 wAFERS를 검사하는 데 사용됩니다. KLA CI T120 은 고급 옵틱, 소프트웨어, 카메라 기술을 결합한 고급 검사 시스템으로, 결함을 감지하고 해결하는 데 있어 업계 최고의 정확성과 정확성을 제공합니다. ICOS CI T-120의 중심에는 10 미크론 이하의 해상도로 포토 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 이미지를 캡처 할 수있는 고해상도, 2 차원 카메라가 있습니다. 이 장치는 응용 프로그램에 따라 검사 렌즈 (inspection lense) 세트로 구성됩니다. 이러한 렌즈에는 무채색, 다중 필드, 특수 목적 및 포토 마스크 및 WAFERS를 검사하기위한 디플렉터블 렌즈가 포함됩니다. CI T-120에는 결함 감지 및 수정을위한 다양한 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 여기에는 패턴 왜곡 감소, 패턴 인식 향상, 오염 물질 및 스크래치 검출 용 소프트웨어가 포함됩니다. KLA CI-T120은 자동 검사 스테이션에 사용하도록 최적화되었습니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 검사 과정 을 자동화 하기 위하여 "머신 '을 다른" 로봇' 암 에 연결 할 수 있는 "로봇 '암 인터페이스 기능 을 갖추고 있다. 또한 여러 영역에 걸쳐 이미지를 정렬하거나, 마스크와 웨이퍼의 자동 비닝을 위해 멀티 존 (multi-zone) 이미징 및 스티칭을 제공합니다. 사용자 인터페이스 측면에서 ICOS CI-T120 은 검사 프로세스를 제어하고 모니터링하는 포괄적인 GUI 툴을 제공합니다. GUI를 사용하면 측정 매개변수 설정, 검사 결과 모니터링, 검사 임무의 전체 무결성 (Integrity of the Inspection Task) 관찰 등을 수행할 수 있습니다. 또한 강력한 관리 자산 (Powerful Management Asset) 이 포함되어 있어 검사 모델 성능을 구성하고 모니터링할 수 있으며, 검사 결과에 대한 보고서를 생성할 수 있습니다. 결론적으로, KLA/ICOS CI T-120은 마스크 및 웨이퍼 검사를 수행하는 반도체 산업을위한 강력한 도구입니다. 첨단 Optic 및 소프트웨어 기능을 통해 최첨단 성능을 제공하도록 설계되었습니다. CI-T120은 포토 마스크 및 wAFERS의 결함을 감지하고 수정하는 데 적합한 고급형 정확성과 정확도를 제공합니다. 로봇 암 (Robotic Arm) 과의 통합은 검사 프로세스를 효율적으로 자동화하는 반면, 종합적인 GUI 및 관리 장비를 통해 사용자는 전체 프로세스를 효율적으로 제어 및 모니터링할 수 있습니다.
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