판매용 중고 KLA / ICOS CI-T120 #293660494

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ID: 293660494
빈티지: 2007
System 2007 vintage.
KLA/ICOS CI-T120 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 반도체 제조에서 품질 관리 비용 및 프로세스 시간을 줄이기 위해 설계된 고급 도량형 솔루션입니다. 고해상도 이미징 및 3D 스캔 기술을 사용하여 마스크 및 웨이퍼 장치를 빠르고 정밀하게 분석할 수 있습니다. 넓은 시야와 자동 웨이퍼 매핑 (automated wafer mapping) 을 통해 향상된 처리량, 정확도, 프로세스 산출량을 제공합니다. KLA CI T120에는 자동 초점 모듈, 3D 표면 도량형 장치, 고해상도 이미징 머신 등 다양한 교환 가능한 도구와 센서가 포함되어 있습니다. 초점 모듈을 사용하면 임계 크기 (CD), 오버레이 및 수직 구조의 빠르고 정확한 측정을 수행할 수 있습니다. 고해상도 이미징을 사용하면 빠른 웨이퍼 매핑 및 타의 추종을 불허하는 3D 서피스 도량형을 제공할 수 있습니다. 멀티 포커스 (multi-focus), 멀티 뷰 (multi-view) 기능을 통해 다양한 웨이퍼 크기와 마스크 형식을 위해 자산을 구성할 수 있으며, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 탐색과 제어를 쉽게 수행할 수 있습니다. ICOS CI T-120은 자동화된 프로세스 레시피와 안정적인 데이터 분석을 제공하여 설정 시간 (setup time) 과 연산자 오류를 줄입니다. 자동 웨이퍼 매핑 (Automated Wafer Mapping) 을 사용하면 디바이스의 모든 부분을 빠르고 정확하게 이미지화할 수 있으며, 자동 분석 및 보고서 생성 (Report Generation) 기능을 통해 프로세스 제어를 향상시킬 수 있습니다. 통합된 결함 검토/보고 툴을 통해 프로세스 안정성 및 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로 CI T-120 마스크 및 웨이퍼 검사 모델은 반도체 제조업체를 위한 고급, 고정밀, 비용 효율적인 솔루션입니다. 다양한 상호 교환 가능한 도구, 센서, 자동화된 프로세스, 협업 기능을 통해 사용자는 최고 수준의 정확도, 처리량, 프로세스 수익률을 달성할 수 있습니다.
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