판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9397172
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ID: 9397172
빈티지: 2010
Vision inspection system
OM OGN180K Reducer
SMC ZSE-0X-21 Vacuum generator
CW100048-002 DRM Intermediate triple cable
POWER-ONE MAP40-1005C Power supply
BANSBACH C3C3-86-048-155-001330N Nitrogen cylinder
CW4587-001 Power supply cable, 5 VDC
XL44B Seal head assembly Rev.6
XL24 Seal head assembly Rev.6
LGA
BGA
Tray to tray
Tray to tape
Reel coupling
Operating system: Windows 2000
2010 vintage.
KLA/ICOS CI 9450 Mask and Wafer Inspection 장비는 마스크와 웨이퍼 모두에 대한 자동 시각적 검사를 수행하는 자동 검사 시스템입니다. 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 의 기능을 정확하고 빠르게 감지하고 분석하여 결함을 신속하게 식별 할 수 있습니다. KLA CI 9450에는 마스크 및 웨이퍼 이미지를 얻기 위해 사용할 수있는 4 개의 디지털 카메라 헤드가 장착되어 있습니다. 이 카메라 헤드는 4 미크론 크기의 픽셀 크기가있는 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 의 고해상도 이미지를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 고정밀 고속 이미징 및 분석 기능을 제공하는 ACRx (Array Close Proximity Raster Inspection) 광 헤드가 추가로 장착되어 있습니다. ICOS CI-9450은 차세대 FPGA (Field Programmable Gate Array) 기술을 활용하여 효율적이고 고정밀 이미지 획득 및 분석을 지원합니다. 이 기계는 멀티 뷰 이미징 (multi-view imaging) 도 가능하며, 웨이퍼와 마스크 사이의 정확한 이미징 및 정렬을 보장하는 고급 정렬 도구를 갖추고 있습니다. 자동 초점과 자동 결함 탐지가 가능합니다. CI 9450 은 마스크 및 웨이퍼 모두에서 결함을 자동으로 감지하고 분류하도록 설계되었습니다. 여기에는 두 가지 프로세스 제어 알고리즘이 있으며, 첫 번째는 EAL (Equal Area Logic) 알고리즘으로, 스캔한 이미지를 골든 참조 이미지와 비교하도록 설계되었습니다. 두 번째는 통계 확률 (Statistical Probability) 알고리즘으로, 피쳐 크기, 유형 등의 통계 데이터를 사용하여 결함을 식별합니다. 또한 KLA CI-9450은 신속한 이미지 획득 및 고속 이미지 분석을 지원합니다. 또한 자동 학습 기술 (Auto-Learn Technology) 이 있으며, 광범위한 애플리케이션에 적응할 수 있으며 자산의 결함 감지 (Defect Detection) 및 분류 정확도를 향상시키는 데 사용될 수 있습니다. 전반적으로 KLA/ICOS CI-9450 마스크 (Mask) 및 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection) 모델은 마스크와 웨이퍼 모두에서 기능을 정확하고 빠르게 감지 및 분석 할 수있는 고급 검사 장비입니다. 최신의 이미징 (Imaging) 및 검사 (Inspection) 기술이 적용되었으며 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 효율적이고 정확한 솔루션을 제공합니다.
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