판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9396597

KLA/ICOS CI 9450은 반도체 제작을 위해 설계된 고급 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고속 이미지 획득, 자동 결함 검토, 마스크 도량형 등의 기능을 제공합니다. 이 시스템은 최첨단 광학 기술 (Optics Technology) 을 사용하여 석판화 패턴의 정확한 측정 및 고해상도 이미지를 가능하게하며, 웨이퍼 마스크 및 완료된 웨이퍼에 대한 결함 및 비 적합성을 감지하는 안정적인 방법을 제공합니다. 이 장치는 WIF (Wafer Inspection Unit) 와 CIARS (KLA Correlative Image Acquisition and Review Machine) 의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. WIF는 검사되는 마스크 또는 웨이퍼의 고해상도 이미지를 수집하고 처리합니다. WIF는 웨이퍼당 최대 60 초의 속도로 이미지를 얻을 수 있으므로 빠르고 효율적인 검사를 수행할 수 있습니다. "렌즈 '는 다양 한" 렌즈' 를 갖추고 있어서 여러 가지 광경 을 포착 할 수 있다. 다양한 이미지 형식이 지원되므로, 이미지를 쉽게 비교할 수 있습니다. CIARS 컴포넌트는 독점 결함 감지 (Proprietary Defect Detection) 알고리즘을 사용하여 결함 및 부적합성을 강조하여 마스크 또는 웨이퍼 검토를 처리합니다. 이 도구는 규칙 기반 패턴 인식과 결합된 하위 픽셀 모서리 검출 (sub-pixel edge detection) 을 사용하여 결함을 감지하고 분류합니다. CIARS 에셋은 다양한 범위와 애플리케이션에 맞게 구성할 수 있으며, 이를 통해 다양한 구성을 유연하게 구성할 수 있습니다. 또한 더 넓은 사용자 기반에 대해 여러 언어를 지원합니다. KLA CI 9450은 다양한 기능과 이점을 제공합니다. 빠른 이미지 획득 속도를 제공하는 고해상도 이미징 기능을 제공합니다. 또한 결함 검토 및 마스크 도량형 (mask metrology) 기능을 자동화하여 효율적이고 정확한 결함 발견 기능을 제공합니다. 또한, 다양한 맞춤형 구성 (customizable configuration) 을 제공하여 다양한 애플리케이션 및 사용자에게 적합합니다. 이 모델은 사용 및 유지 관리가 간편하고, 안정적인 성능을 보장하며, 다운타임을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다.