판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9384067
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KLA/ICOS CI 9450 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 반도체 마스크 및 웨이퍼를 검사하도록 설계된 자동 도량형 시스템입니다. 이 장치는 피쳐 크기와 모양 측정, 양호한 다이 (Good and Bad Dies) 확인, 광범위한 웨이퍼 (Wafer) 에 대한 포괄적인 수동/자동 결함 검토 등의 기능을 제공합니다. KLA CI 9450 (KLA CI 9450) 에는 한 쌍의 회전식 광학 시스템이 장착되어 있어, 사용자가 웨이퍼의 다양한 이미지와 다이어그램을 캡처할 수 있습니다. 첫 번째 광학 머신은 검진을 위해 단일 이미지를 캡처할 수있는 여러 개의 카메라로 구성됩니다. 두 번째 광학 도구는 내장형 광각 (wide angle) 카메라로, 기능 크기의 높은 확대 이미지를 제공합니다. ICOS CI-9450에는 다양한 Probing, Imaging 및 Analysis 작업을 수행하는 강력한 DIP (Digital Image Processor) 가 장착되어 있습니다. 디프 (DIP) 는 단일 주기로 수백 개의 이미지를 캡처하고, 독점 소프트웨어 알고리즘을 활용하여 추가 검토를 위해 그룹이나 범위로 정렬할 수 있습니다. 자산에는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있어 데이터를 쉽고 효율적으로 조작할 수 있습니다. 이 모델은 마스크 또는 웨이퍼의 하위 미크론 구조 (예: 구멍을 통한 금속성, TSV, 4 분의 1 미크론 선 및 모티브) 를 측정 할 수 있습니다. 또한 나노 패치, 마스크 레이어 결함, 가장자리 결함, 입자, 스크래치 및 이물질과 같은 복잡한 결함을 탐지 할 수 있습니다. 또한, KLA/ICOS CI-9450은 마스크 및 웨이퍼에서 균일 결함을 감지하고 웨이퍼에서 나쁜 다이를 감지하고 식별 할 수 있습니다. KLA CI-9450 (KLA CI-9450) 은 여러 가지 인체 공학적 기능을 갖춘 컴팩트하고 견고한 주택을 갖추고 있으며, 장비를 설치하고 작동시킬 수 있습니다. 내장 팬은 옵틱을 시원하게 유지하고 옵티컬 시스템을 유지하는 데 도움이됩니다. 평탄하지 않은 표면에 장착된 샘플을 검사하는 데에도 고해상도 광학 시스템 (High-Resolution Optical System) 을 사용할 수 있으므로 완벽한 평탄하지 않은 샘플을 검사할 수 있습니다. 결론적으로, CI 9450 마스크 및 웨이퍼 검사 장치는 신속, 정확한 서브 미크론 도량형 및 결함 분석에 이상적인 안정적이고 견고한 기계입니다. 통합 옵티컬 시스템, DIP, 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 반도체 마스크와 웨이퍼를 쉽게 검사할 수 있으며, 높은 정확도와 처리량을 제공합니다.
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