판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9363158
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KLA/ICOS CI 9450은 반도체 산업을위한 우수한 웨이퍼 및 마스크 검사 기능을 제공하는 고급 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 MIS (Mask Inspection Unit), WIS (Wafer Inspection Machine) 및 CIS (Computer Integrated Tool) 의 세 가지 핵심 구성 요소로 구성됩니다. KLA CI 9450 (KLA CI 9450) 은 마스크 및 웨이퍼 검사에서 정확성과 속도를 제공하도록 설계되어 최종 사용자에게 검사 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. MIS (Mask Inspection Asset) 는 단색 이미지 획득, 광학 왜곡 수정 및 파면 분석을 갖춘 광학 모델입니다. 이 장비는 마스크 표면의 결함 및 오염을 감지하는 데 사용됩니다. WIS (Wafer Inspection System) 는 정밀 석판화 모듈, 통합 광학 장치 및 안정적인 웨이퍼 표면 검사 및 이미지 획득 기능을 제공하는 이미지 수정 소프트웨어 패키지로 구성됩니다. WIS는 웨이퍼 표면에서 결함과 오염을 감지하는 데 사용됩니다. 마지막으로 CIS (Computer Integrated Machine) 는 모든 검사 시스템 제어, 워크플로우 제어, 웨이퍼 및 마스크 데이터 관리를 담당하는 컴퓨터 도구입니다. ICOS CI-9450은 최첨단 밝기 이미징 및 DIC (differential interference contrast) 이미징을 포함한 다양한 고급 기술을 사용하여 웨이퍼 및 마스크의 결함과 오염을 정확하게 감지하고 표시합니다. 일련의 조명 필터, 광학 렌즈 (optical lenses) 및 배율 해제 카메라가 자산에 통합되어 우수한 검사를 제공합니다. 이 모델에는 결함 분류 (Defect classification), 프로세스 제어 (Process Control) 등 다양한 자동 검사 및 보고 도구가 있습니다. 마지막으로, 장비는 정밀 로봇 공학을 통합하여 전체 마스크 및 웨이퍼 검사 프로세스를 자동화합니다. 이는 정확성을 보장하고, 검사 과정의 속도를 높이고, 사람의 오류의 위험을 줄입니다. 이 시스템은 또한 종합적인 온보드 문서 (on-board on-board documentation) 및 프로그래밍 기능을 제공하며 모든 검사 결과에 대한 완전한 추적 기능을 제공합니다. 따라서, 고객은 KLA CI-9450이 모든 마스크 및 웨이퍼 배치에 대해 정확하고 안정적인 검사 결과를 제공 할 것이라고 확신 할 수 있습니다.
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