판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9253654

KLA/ICOS CI 9450 (KLA/ICOS CI 9450) 은 웨이퍼에 개별 다이를 시각화하고 자동화된 인라인 검사 및 도량형을 제공 할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 고급 이미징 기술과 브라이트 필드 (brightfield), 다크 필드 (darkfield), 형광 (fluorescence) 과 같은 수많은 이미징 모드가 장착되어 있어 서브 미크론 (sub-micron) 수준에서 웨이퍼의 결함을 감지하는 데 도움이됩니다. KLA CI 9450 은 향상된 처리량 및 결함 감지 (Defect Detection) 기능을 제공하여 운영 속도를 높입니다. 이 시스템은 고급 시력 검사, 레이저 변위, 자동 다이 인식, 미크론 레벨 fiducial 정렬 등 다양한 동작 및 정렬 기술을 제공합니다. 각 기술은 자동 이미지 처리 알고리즘 (예: 입자 분석, 리소그래피 배경 향상) 을 사용한 수익률 크리티컬 (yield-critical) 기능에 대한 측정을 포함하여 다이의 이미지 품질에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 또한 ICOS CI-9450에는 Automatic Defect Detection Data Analysis Toolset, Quality Data Logger, Integrated Historical Viewer 및 Image Viewer와 같은 여러 가지 효율성 향상 기능이 제공됩니다. 자동 결함 감지 데이터 분석 도구 세트 (Automatic Defect Detection Data Analysis Toolset) 는 수집된 데이터의 분석을 지원합니다. 내장된 공식, 차트 뷰 (Chart View), 고급 통계 (Advanced Statistics) 를 통해 결과를 빠르고 정확하게 정렬하고 해석할 수 있습니다. 품질 데이터 로거 (Quality Data Logger) 는 웨이퍼 검사 결과의 품질을 실시간으로 파악하는 기능입니다. 즉, 사용자가 결함 프로파일과 품질 개선 속도를 이해하는 데 도움이 되는 명확하고, 예시적인 보고서를 생성합니다. Integrated Historical Viewer (통합 히스토리 뷰어) 및 Image Viewer (이미지 뷰어) 위젯을 사용하면 웨이퍼 검사 결과를 전체적으로 탐색하고 검토할 수 있으므로 웨이퍼 데이터 기록을 포괄적으로 볼 수 있습니다. 결론적으로, CI 9450 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템은 빠르고 정확한 결함 감지 및 항복 분석 기능을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 웨이퍼에서 개별 다이를 시각화하고 서브 미크론 (sub-micron) 수준에서 결함을 식별 할 수 있습니다. 고급 이미징 기술, 동작 및 정렬 기능, 효율성 향상 (Efficiency-Enhancing) 기능을 통해 사용자가 웨이퍼의 품질을 빠르고 효율적으로 평가할 수 있습니다.