판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9244496
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KLA/ICOS CI 9450 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 고급 포토 마스크 및 웨이퍼 표면의 결함 검사를 수행하도록 설계된 고성능 광 표면 CCD 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 장치는 최대의 검사 해상도와 생산성을 보장합니다. 이 기계는 2 개의 고해상도 흑백 CCD 카메라로 구성된 고급 광학 이미징 도구 (직선 확대 기능, 다방면 이미징 기능 포함) 를 기반으로합니다. 두 카메라는 최적의 광시야를 제공하며 프로그래밍 가능한 검사 필드, 온-축 (on-axis) 및 오프-축 (off-axis) 조명과 위상 이동, 식별, 색상 튜닝 등의 고급 이미징 기술을 갖추고 있습니다. 카메라는 이미지 조작이 가능한 이미지 프로세서/조회 스테이션에 연결됩니다. 프로세서에는 다양한 소프트웨어 프로그램이 장착되어 있어, 사용자가 결함을 찾아, 식별하고, 평가할 수 있습니다. 또한 "마스크 '나" 웨이퍼' 의 여러 가지 부면 을 검사 하고 관심 의 "이미지 '를 얻을 수 있다. 또한, 소프트웨어는 결함의 밀도를 계산하여 향후 분석을 위해 온보드 (on-board) 데이터베이스에 저장할 수 있습니다. 이 자산은 고효율로 작동하도록 설계되었으며, 최고 0.1 도 (m) 의 정확도로 시간당 최대 100 웨이퍼 (wafer) 의 검사 속도를 얻을 수 있습니다. 원격 액세스를 위한 보안 이더넷 (Secure Ethernet) 이 장착되어 있어 사용자가 세계 어디서나 액세스할 수 있습니다. 이 모델에는 직관적인 사용자 인터페이스, FOUP 및 LOT 와의 완벽한 통합, 빠른 작업 제출 및 검색, 오류 로깅, 실시간 장애 격리 등 다양한 사용자 친화적 기능이 함께 제공됩니다 (영문). 또한, 장비는 최신 석판화 및 도량형 시스템과 완전히 호환되며 다양한 포토 마스크 (photomask) 및 웨이퍼 (wafer) 형식과 호환됩니다. 업계 표준을 준수하며 이미지 분류, 검사 보고서 생성, 드릴다운 분석 (옵션) 을 제공합니다. 전반적으로, KLA CI 9450 Mask & Wafer Inspection System은 완전하고 포괄적인 장치로, 사용자에게 고해상도 이미징 기능과 함께, 포토마스크 및 웨이퍼 표면의 최첨단 결함 검사를 가능하게 하는 고급 소프트웨어 프로그램을 제공합니다.
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