판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9208707
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KLA/ICOS CI 9450은 제조 프로세스의 품질을 모니터링하는 데 사용되는 인라인 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 시스템은 마스크 (Mask) 에서 웨이퍼 (Wafer) 에 이르기까지 제조 공정의 각 단계에 대한 자동화된 철저한 검사를 제공합니다. KLA CI 9450은 마스크 검사, 프로세스 검사, 다이 검사 및 웨이퍼 검사의 4 단계로 구성됩니다. 마스크 검사 (Mask Inspection) 단계에서는 모서리 탐지 알고리즘을 사용하여 마스크 피쳐의 형상 정밀도 (예: 선 너비, 모양, 대비) 를 평가합니다. 또한 이 알고리즘을 사용하면 모든 마스크 구성 요소를 적절하게 정렬하고 배치할 수 있습니다. 프로세스 검사 (Process Inspection) 단계는 패턴의 노출 레벨, 깊이, 선형성과 같은 마스크를 생성하는 리소그래피 프로세스의 품질을 평가합니다. 이 단계는 또한 원하는 피쳐 형상의 편차를 체크합니다. 다이 검사 (Die Inspection) 단계는 칩 설계를 만드는 데 사용되는 트랜지스터, 상호 연결 및 기타 컴포넌트의 존재와 정확도를 확인합니다. 이 단계는 또한 웨이퍼 (wafer) 의 표면 품질을 모니터링하여 칩 제품의 신뢰성에 영향을 줄 수 있습니다. 마지막으로, 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection) 단계는 장치가 형성된 후 웨이퍼 표면의 결함과 오염 물질을 찾습니다. 이를 통해 최종 제품에 포함되기 전에 결함 있는 다이 (die) 를 식별하고 제거할 수 있습니다. ICOS CI-9450은 신뢰성이 높고 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 자동화된 4 단계 스캐닝 (Scanning) 프로세스를 통해, 제조 프로세스의 모든 단계에서 결함 및 오염을 감지하여 최종 제품의 최고 품질을 보장할 수 있습니다. 이 제품은 빠르고 효율적으로 작동하여, 필요한 품질 검사를 수행하는 데 필요한 시간과 비용을 최소화합니다.
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