판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9186860

KLA/ICOS CI 9450은 KLA-Tencor Corporation의 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 프로세스 노드에서 반도체 웨이퍼, 레티클, 마스크 등의 잠재적 결함을 파악하고 분석할 수 있도록 설계되었습니다. KLA CI 9450 은 자동 웨이퍼 정렬 시스템 (Automatic Wafer Alignment System) 을 통해 정밀한 오버레이 정렬을 제공하며 중요 크기 및 지형을 측정하는 고급 검사 툴링을 제공합니다. 이 장치의 광학 머신은 밝기 (brightfield) 및 어두운 필드 (darkfield) 기능과 매우 상세한 검사를 가능하게 하는 높은 확대 (최대 500x) 기능을 제공합니다. 또한 ICOS CI-9450에는 자동 웨이퍼 스테이지, 동적 초점 메커니즘, 색상, 편광, 다중 주파수 매핑과 같은 고급 이미징 기술과 같은 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 브리징, 공백, 마스크 오류 등과 같은 결함 유형을 정확하게 분석할 수 있습니다. 소프트웨어 측면에서 CI 9450 은 내장된 결함 분류/결함 관리 툴과 이미지 분석/보고 기능을 갖춘 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있습니다. 상세한 검사 결과는 다운스트림 검토 및 검토 도구 (예: ICOS/LabExpert) 를 위해 쉽게 내보낼 수 있으며, 검사 결과를 빠르고 쉽게 검토할 수 있습니다. KLA CI-9450 은 리소그래피, OPC, Diffractometry 등 다양한 프로세스 애플리케이션에 맞게 구성할 수 있습니다. 이 도구는 통합 검사 및 검토 소프트웨어인 KLA/ICOS/Advanced Process 및 Review Tool의 고급 레이어 프로세스 제어 기능과도 호환됩니다. 이 소프트웨어는 고객에게 프로세스 매개변수 제어 및 관리를 위한 최신 기술을 제공합니다. ICOS CI 9450 (ICOS CI 9450) 은 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 고도로 모듈식 설계를 통해 특정 어플리케이션을 사용자 정의할 수 있으며, 고급 이미징 (imaging) 및 자동 향수 (automatic perfomance) 기능을 통해 뛰어난 처리량을 제공합니다. KLA-Tencor 의 다양한 툴과 소프트웨어와 결합된 CI-9450 은 프로세스 제어 (Process Control) 및 결함 탐지에 이상적인 솔루션입니다.