판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9186346

KLA/ICOS CI 9450은 업계 표준 결함 검사 및 전기 테스트 결과를 제공하는 시장을 선도하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 완전 자동화된 이 시스템은 포토마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 를 보다 정확하고 반복 가능하게 검사하도록 설계되었습니다. 이 장치는 높은 종횡비, 크고 불규칙한 모양, 기타 어려운 장치 등 모든 종류의 마스크와 웨이퍼를 다룹니다. 이미징 머신, 전기 도구, 패턴 인식 에셋, 검사 모델 등 4 가지 뚜렷하지만 동기화된 감지 시스템을 활용하여 모든 마스크 및 웨이퍼 기능을 정확하게 이미징합니다. 이미징 장비는 4K 마이크와 고해상도 카메라로 구성되며, 표면 결함 및 마스크 패턴을 캡처합니다. 이미지 품질을 최대화하기 위해 자동 초점 기술과 2D 렌즈와 연결되어 있습니다. 실시간 깊이 감지 기술과 고급 이미지 프로세싱을 사용하면 다이-투-다이 간격 (die-to-die spacing), 라인 너비 (line width), 접촉 오프닝 (contact opening), 돌출 (protrusion) 및 모서리 구속 (edge constraints) 등 다양한 표면 세부 사항을 캡처할 수 있습니다. 전기 장치 는 또한 4K "마이크 '를 통합 하여 소리 를 사용 하여 전기" 쇼트' 와 "오픈 '을 탐지 하고 약간 의 전류 의 유동 변화 를 야기 시킨다. 전기적 성능을 일관되게 보장하기 위해 조절 가능한 공압 높이 제어 머신으로 차폐 챔버 (shielded chamber) 구조로 설계되었습니다. 패턴 인식 도구에는 고성능 멀티 코어 프로세서와 고급 패턴 인식 알고리즘이 있습니다. 이 자산은 마스크 패턴의 결함을 인식하고 결함이 없는지 검사하도록 설계되었습니다. 검사 모델은 4K 시야와 최첨단 결함 분류 알고리즘이있는 정교한 광학 검사 헤드를 갖추고 있습니다. 이 장비는 거의 모든 복잡한 디자인 패턴뿐만 아니라 1µm 이상의 결함에 대한 빠르고 안정적인 검사를 제공합니다. 전반적으로, KLA CI 9450은 복잡한 마스크와 웨이퍼를 효율적으로 검사하고 오류가 없는지 확인하는 고급 (advanced) 기술이 적용된 고급 검출기 시스템입니다. 견고하고 안정적인 설계로 제품 손실을 예방하고 비용 절감 효과를 극대화할 수 있습니다 (영문). 모든 표면 (surface) 피쳐를 매우 정확하게 감지할 수 있는 기능을 통해, 포토마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 검사 요구를 충족하는 이상적인 도구입니다.