판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9186344

KLA/ICOS CI 9450 Mask & Wafer Inspection Equipment는 업계 최고의 마스크 및 웨이퍼 검사 및 결함 검토 솔루션입니다. 이 다목적 플랫폼은 탁월한 정확성과 해상도를 제공하여 스테퍼 마스크 (stepper mask) 와 완료된 웨이퍼 (finished wafer) 를 포괄적으로 검사하고 0.02m까지 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 고급 시스템 (Advanced System) 은 청정실 및 산업 반도체 생산에 대한 최고 표준을 충족하도록 설계되어, 생산 부품이 품질 보장을 충족하도록 합니다. KLA CI 9450은 특허 광학을 사용하여 하나의 자동 루프 사이클에서 다이 투 다이 (die-to-die) 또는 다이 투 마스크 (die-to-mask) 로 단일 또는 여러 이미지를 동시에 얻습니다. 이를 통해 매우 효율적인 검사를 통해 시간과 비용을 절약할 수 있습니다. 통합된 강력한 AutoSurvey 기능으로 자동 다이 투 다이 (Die to Die), 다이 투 마스크 (Die to Mask), 스택 스택 (Stack to Stack) 압축 기능이 제공됩니다. 이 기능은 수작업 검사 (manual inspection) 를 필요로 하지 않으므로 프로세스 속도를 높이고 최적의 정확성을 보장합니다. ICOS CI-9450은 완전히 자동화 된 다이 투 다이 검사를 위해 독점적 인 패턴 인식 기술을 통합합니다. 이를 통해 사용자는 입자 오염, photomask 결함, 칩 결함, 모서리 감지, 음영 및 측정과 같은 조건을 식별하고 분석할 수 있으며, 전체 정확도는 90% 입니다. 마스크 & 웨이퍼 검사 장치에는 평탄도 및 표면 거칠기 매개 변수의 매핑을 위해 6DOF (6도 자유) 측정이있는 통합 도량형 패키지가 있습니다. CI-9450 은 모든 운영 환경에 적합한 유연성과 호환성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 머신은 기존의 모든 툴 세트에 쉽게 통합될 수 있으며, 저용량 (low-to-very volume) 에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 사용될 수 있습니다. 또한 통합 안전 I/O (Safety I/O) 를 통합하여 유지 보수 시간에 안전한 액세스 및 운영을 보장함으로써 안전성을 강화합니다. 전반적으로 KLA CI-9450은 고급, 안정성, 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. 반도체 생산 환경에서 꼭 필요한 장비이며, 생산된 부품이 가장 높은 표준을 충족할 수 있도록 종합적이고 정확한 솔루션을 제공합니다 (영문).