판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9181242

KLA/ICOS CI 9450 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 웨이퍼 및 마스크 검사를 위해 설계된 자동 광학 검사 (AOI) 시스템입니다. 고급영상장치 (Advanced Imaging Unit) 를 장착해 빠른 속도와 정확도로 결함을 감지했다. 이 기계는 고해상도 디지털 이미징 카메라와 대형 생산 지도를 스캔하기위한 2 개의 자동 스테이지를 갖추고 있습니다. 또한 간편하고 직관적인 검사 매개변수 프로그래밍을 지원하는 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 포함하는 통합 도구 컨트롤러가 제공됩니다. KLA CI 9450의 작동 면적은 40 x 40 mm 이며, 이를 통해 다양한 웨이퍼 및 마스크 크기를 스캔 할 수 있습니다. 자산은 자외선 (UV) 이미징 기술을 사용하여 0.2 마이크로미터까지 기능을 정확하게 검사합니다. 이것은 실질적인 필드의 이미지를 캡처하고 잠재적 결함을 평가함으로써 수행됩니다. (예: 이 모델에는 고급 대비 알고리즘 (advanced contrast algorithms) 과 색상 변환 기능 (color transformation capability) 이 있어 신호와 결함을 정확하게 구분할 수 있습니다. ICOS CI-9450은 또한 강력한 분석을 통해 정확성과 신뢰성을 향상시킵니다. 통계적 결함 패턴 일치 (statistical defect pattern matching) 와 결함 클러스터를 분석하는 알고리즘 분석 (analyzing algorithm) 이 있어 결함 탐지가 빨라집니다. 여기에는 총 결함 수를 줄이는 데 도움이 되는 false defect identification이 포함됩니다. 또한이 장비는 FFC (Advanced Flat Field Correction) 알고리즘을 사용하여 전방 산란을 완화하고 랜덤 노이즈를 최소화합니다. ICOS CI 9450에는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 있어 신속하게 검사를 설정할 수 있습니다. 여기에는 다양한 결함 보기/인쇄 기능과 실시간 운영자 피드백 (feedback) 모드가 있습니다. 이 시스템에는 웨이퍼 (wafer) 나 마스크를 시각적으로 검사할 수있는 내장 광학 현미경도 있습니다. 결론적으로 KLA/ICOS CI-9450 Mask & Wafer Inspection 장치는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 신뢰할 수 있고 정확한 검사 기계입니다. 고해상도 디지털 이미징 카메라와 스캐닝을 위한 2 개의 자동 단계, 강력한 분석 및 실시간 운영자 피드백을 제공합니다. 또한, 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 쉽게 도구를 설정할 수 있습니다.