판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9173937

KLA/ICOS CI 9450은 높은 처리량 수율 성능을 제공하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 자동화 및 맞춤형 하드웨어/소프트웨어 기능을 갖춘 KLA CX 9350 의 후속 제품입니다. 이 시스템은 브라이트필드 (brightfield), 다크필드 (darkfield), UV 이미징 (UV Imaging) 의 동시 사용과 특허를 획득한 향상된 오버레이 기술을 활용하여 정확한 결함 감지 및 분류를 보장합니다. 이 장치에는 25 메가 픽셀 브라이트 필드 디지털 카메라와 8 메가 픽셀 저경량 디지털 카메라가 있으며, 각각 2 인치 전기 렌즈 머신이 있습니다. 넓은 시야와 고해상도 (High Resolution) 는 다양한 웨이퍼 크기와 유형에 비해 뛰어난 성능을 제공합니다. 또한, 이 도구에는 투명 재료의 이미징 개선을위한 UV 이진 위상 대비 이미징 기능도 있습니다. KLA CI 9450에 등장한 최첨단 CCD는 3D 포토레지스트 스테핑과 같은 향상된 아티팩트를 갖춘 뛰어난 광학 감도를 제공합니다. 또한, 특허를받은 자산의 향상된 오버레이 (enhanced overlay) 기술은 잠재적 오버레이 관련 결함을 감지하고 분류하기 위해 통합되었습니다. 검사 속도 측면에서, 모델은 최대 6G의 가속도를 가지며, 시간당 640 건 이상의 웨이퍼 검사를 가능하게합니다. 이 장비는 또한 병렬 처리 기능 (parallelism feature) 을 지원하며, 이를 통해 여러 패턴 또는 대상을 연속 웨이퍼와 병렬로 정렬할 수 있습니다. 또한, ICOS CI-9450에는 처리량을 최대화하기 위해 자동 모듈 배출 (automatic module disjection) 및 다중 패턴 로드/언로드 (multiple pattern load/unload) 기능과 같은 고급 자동화 기능이 포함되어 있습니다. CI-9450 은 다양한 사용자 친화적 조치를 사용하여 워크플로우 제어를 개선하고 자동화합니다. 여기에는 목표 당 최대 10 개의 통합 목표, 상세한 데이터 보기와 함께 보고 기능, Shift-to-Shift 작업 설치 툴이 포함됩니다. 전반적으로, KLA/ICOS CI-9450은 고급 자동 워크플로우 제어, 고속 검사 기능, 뛰어난 이미징 해상도를 갖춘 고급, 매우 정밀한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 반도체 업계의 수율 성능 향상과 처리 속도 향상 (F.A.S.T.) 을 추구하는 사람들에게 적합합니다.