판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9173936
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ID: 9173936
Lead inspection system
With handler
(1) Pass devices output tray
(1) Reject output tray
Configuration:
(1) Multi tray input module
(2) Multi tray output module for pass devices
(3) Multi tray output module for reject devices.
KLA/ICOS CI 9450 Wafer Inspection Equipment는 박막 구조의 결함을 감지하는 데 사용되는 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 장치는 고급 광학, 전기 및 프로세스 테스트를 사용하여 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 분석하여 장치 성능 저하 또는 잠재적 수익률 손실을 초래할 수 있습니다. 이 기계는 정교한 소프트웨어 제품군 (Software Suite) 과 이미지 처리 기술을 사용하여 결함을 실시간으로 감지하고 분류하여 품질 보증 프로세스를 위한 자동화된 결함 검토 플랫폼 (Defect Review Platform) 을 제공합니다. KLA CI 9450 Mask and Wafer Inspection Tool은 다양한 기판에서 중요한 결함 및 재료 결함을 빠르고 정확하게 감지할 수 있도록 설계되었습니다. 옵토일렉트로닉 (optoelectronic), 이미지 처리 (image processing) 및 필름 측정 기능의 독특한 조합을 통합하여 결함 감지 및 결함 검토에 대한 포괄적인 적용 범위를 보장합니다. 이 자산에는 광역 검사 및 결함 분류를위한 듀얼 시야 광학 플랫폼 (field-of-view optical platform) 과 결함 이미지와 관심 패턴을 캡처하는 고해상도 디지털 카메라 (digital camera) 가 장착되어 있습니다. 고급 이미징 (Advanced Imaging) 알고리즘은 다양한 배율에서 결함을 감지하고 다양한 결함 유형을 처리하도록 설계되었습니다. ICOS CI-9450 Wafer Inspection Model은 최고 수준의 품질 보증을 보장하도록 설계된 다양한 최첨단 도구를 갖추고 있습니다. 여기에는 다이 위치 (die location) 에 기반한 자동 검사 및 결함 분류를위한 다이 중심 모듈과 결함 정렬 및 분류를위한 고급 1D 알고리즘이 포함됩니다. 이 장비는 결함 검토 (automated defect review) 및 결함 템플릿 라이브러리 (defect template library) 를 포함하여 결함 검토 프로세스를 간소화하는 다양한 기능을 제공합니다. 또한 프로세스별 영향을 조정하는 자체 교정 기능도 포함됩니다. 마지막으로, 소프트웨어는 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하여 운영자가 데이터를 신속하게 액세스하고 결과를 검토할 수 있도록 합니다. KLA CI-9450 Wafer Inspection System (Wafer Inspection System) 은 반도체 웨이퍼 및 마스크 제조업체에 중요한 툴로서, 신뢰성과 정확성을 모두 갖춘 포괄적인 결함 검토 플랫폼을 제공합니다. 이 장치는 자동화된 결함 검토, 결함 식별, 결함 정렬 및 분류, 결함 템플릿 라이브러리 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한, 이 기계는 프로세스별 영향을 위한 자가 보정 (self-calibration) 및 직관적인 사용자 인터페이스를 포함한 강력한 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 KLA/ICOS CI-9450 Wafer Inspection Tool은 중요 마스크 및 웨이퍼 검사 프로세스에서 최고 수준의 품질 보증을 보장합니다.
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