판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9159878

KLA/ICOS CI 9450은 반도체 및 마스크 검사 작업에 뛰어난 성능과 정확성을 제공하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 제품은 KLA Proven ICOS ™ 기술을 기반으로 결함 검사 및 반복 프로세스 제어를 위한 자동화된 강력한 솔루션을 제공합니다. 시스템의 중심에는 5 축, 높은 정확도 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 가 있으며, 넓은 영역 마스크와 웨이퍼의 자동화되고 정확한 이미지를 지원합니다. 강력한 이미지 처리 기능과 함께, KLA CI 9450 은 상세한 광 검사를 통해 결함 검사 및 프로세스 제어를 제공합니다. ICOS CI-9450은 2 차원 임계 치수 (2D CD) 도량형을 사용하여 마스크 또는 웨이퍼에서 가장 작은 기능을 측정하고 모니터링합니다. 여기에는 5 축 정밀 로봇 스테이지의 배열과 표면을 정확하게 이미지화하는 데 사용되는 광원이 장착되어 있습니다. 광원은 제어 이미지를 개체에 전송하고, 그 다음 CCD 카메라에 의해 감지됩니다. 이 정보는 이미지 처리 장치 (image processing unit) 에 의해 처리되며 표준과 비교됩니다. 표준과 측정 사이의 모든 이상 또는 불일치가 언급되고 보고됩니다. ICOS CI 9450의 이미징 및 도량형의 정밀도는 자동 초점 모듈 및 레이저를 사용하는 비접촉 3D 이미징 머신 (non-contact, 3D imaging machine) 에 의해 더욱 향상되어 마스크 및 웨이퍼의 3D 형상을 높은 정확도로 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 도구의 모듈식 설계는 유연하고, 업그레이드하기 쉽기 때문에, 다양한 어플리케이션에 맞게 조정할 수 있습니다. KLA CI-9450은 결함 분석 및 반복 프로세스 제어를 통해 결함이 없는 생산을 보장합니다. 자동화된 고해상도 이미징, 스팟 결함, 방향성 조명을 통해 가장 어려운 결함을 감지할 수 있습니다. 또한 알고리즘 라이브러리 (algorithm library) 와 통계적 추세 (statistical trending) 도구를 사용하여 프로세스 제어 및 설계 확인 데이터를 제공합니다. CI 9450은 반도체 및 마스크 검사를위한 강력하고 신뢰할 수있는 자산입니다. 고급 도량형 및 결함 감지 도구를 통해 자동화된, 정확한 이미징 및 결함 분석을 제공합니다. 이 모델은 견고한 구성 요소와 소프트웨어로 제작되었으며, 정확한 시각적 검사 결과를 얻을 수 있습니다. CI-9450 은 마스크 및 웨이퍼 생산의 최대 성능을 달성하기 위한 최적의 선택입니다.