판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9159855

KLA/ICOS CI 9450은 반도체, 디스플레이 및 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 산업에 사용되는 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고해상도 이미징 기능, 자동화된 결함 감지, 테스트 사이트와 카탈로그 라이브러리의 비교, 도량형 기능 등을 제공합니다. 이 단위는 photomask, SEM (scanning electron microscope), scatterometry, critical dimension 및 overlay 측정을 포함하여 광범위한 검사를 제공합니다. 동력화 된 분류기 는 "마스크 '와" 웨이퍼' 를 빠르게 재생 할 수 있는 방법 으로 영상 과 검사 를 위해 현미경 으로 이동 시킨다. 고해상도는 이러한 기판의 다양한 기능과 결함에 대한 상세한 이미징을 제공합니다. KLA CI 9450 은 자동 결함 감지 (automated defect detection) 및 분류 알고리즘을 탑재하여 시각적 결함 및 비시각적 결함을 신속하게 파악할 수 있습니다. 이 머신은 사전 제작된 테스트 사이트와 라이브러리 사이트 간의 비교 및 상관 관계를 제공하며, 이를 통해 복잡한 결함 감지 및 분류가 가능합니다. 또한 맨눈에 보이지 않는 피쳐 레벨 결함을 식별 할 수 있으며, 그렇지 않으면 감지 할 수 없습니다. ICOS CI-9450 은 또한 도량형 (metrology) 기능을 제공하여 마스크 및 웨이퍼 (예: 선 너비, 선 길이, 각도 측정) 에 대한 다양한 기능을 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 자동 초점 제어 메커니즘은 또한 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 측정을 가능하게합니다. CI-9450 의 고급 이미징, 자동 결함 감지 (automated defect detection), 비교 및 도량형 (metrology) 기능을 통해 다양한 유형의 기판에서 가장 어려운 결함까지도 감지하고 분류할 수 있는 강력한 툴입니다. 뛰어난 이미징 해상도, 자동 정렬기 (automated sorter) 와 결합된 이러한 기능은 고급 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사를위한 이상적인 도구입니다.