판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #9057141

KLA / ICOS CI 9450
ID: 9057141
Inspection system.
KLA/ICOS CI 9450은 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 광학 기술 (Optical Technologies), 로봇 (Robotics), 강력한 컴퓨팅 기능을 결합하여 마스크 및 웨이퍼 기판의 최고 수준의 품질을 보장하는 고도로 자동화된 고해상도 광학 검사 시스템입니다. 이 장치의 핵심에는 독점 소프트웨어 (Software) 와 완전 통합 옵티컬 어레이 (Optical Array) 가 있습니다. 포토 마스크 또는 웨이퍼의 최대 5 메가 픽셀 이미지를 캡처하고 분석 할 수 있습니다. 광학 어레이는 다중 노출 (multiple exposure) 을 필요로 하지 않으며, 검사 시간을 줄이고, 개별 필드 사진과 관련된 잠재적 오류를 제거합니다. KLA CI 9450은 또한 광범위한 자동 결함 감지 및 분석 기능을 제공합니다. 기본 제공 분석 알고리즘은 자동으로 획득한 데이터와 저장된 참조 데이터 (stored reference data) 를 비교하여 결함이 있는지 여부를 결정합니다. 관찰 된 결함을 추가로 분석하여 유형과 크기를 결정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 검사 된 마스크 (mask) 나 웨이퍼 (wafer) 의 움직임과 정렬 모두에서 정확성을 보장하기 위해 강력한 로봇 암을 갖추고 있습니다. 첨단 웨이퍼 처리 기술 (Advanced Wafer Handling Technology) 은 뛰어난 처리 정밀도를 제공하며 검사 프로세스 동안 검사된 기판 위치가 일정하게 유지되도록 합니다. 또한 ICOS CI-9450은 빠르고 간편한 설치를 위해 설계되었습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 새로운 검사 작업을 빠르고 쉽게 프로그래밍할 수 있으며, 필요에 따라 도구 (Tool) 의 매개변수를 손쉽게 조정할 수 있습니다. 이 자산은 또한 다양한 편리한 기능을 갖추고 있으며, 반복되거나 장기적으로 사용할 수 있도록 데이터를 저장하고 리콜 (recall) 할 수 있습니다. 전반적으로 CI-9450 은 경쟁업체와 차별화되는 고급, 신뢰성, 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 광범위한 자동 검사 기능 (Automated Inspection Capability), 고급 광 기술 (Advanced Optical Technologies), 강력한 로봇 암 (Robot Arm) 을 통해 기업의 생산 및 품질 보증 요구를 모두 충족할 수 있습니다.
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