판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #293812625

ID: 293812625
빈티지: 2004
Scanner 2004 vintage.
KLA/ICOS CI 9450은 반도체 제조 공정의 오류 및 오염을 감지하는 데 사용되는 자동화된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 이미징 및 데이터 신호 분석 (Data Signal Analysis) 기술을 사용하여 전공이 되기 전에 장애를 감지합니다. 이 장치는 고속 스캔 및 검사 기능을 갖춘 반도체 IC (집적 회로) 웨이퍼의 높은 처리량을 생산할 수 있습니다. KLA CI 9450 머신은 모듈식 (modular) 레이아웃으로 설계되어 고객의 요구에 따라 도구를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 자산은 두 개의 이미징 경로 (밝은 필드 조명 및 어두운 필드 조명) 를 통해 고속 이미징 방법을 제공합니다. 밝은 필드 조명은 표면 결함을 감지하고 어두운 필드 조명은 비 표면 결함을 감지합니다. 이 모델은 또한 고급 웨이퍼 분석 (advanced wafer analysis) 기능을 제공하여 웨이퍼 서피스에서 감지된 결함을 심층적으로 분석 할 수 있습니다. ICOS CI-9450 에는 고속, 연속 생산 흐름을 위해 설계된 자동 캐리어 취급 장비도 포함되어 있습니다. 이 시스템은 물리적 레이어 전송, 로드/언로드, 스마트 정렬 및 웨이퍼 재구성 기능으로 제작되었습니다. 또한 LED, 바코드 기술, 자동 웨이퍼 인식, 부품 정렬에 대한 컴퓨터 일치 등의 향상된 기능을 제공합니다. 고유한 자재 빌드로 제작 된 KLA CI-9450 장치는 산업 등급의 안정성과 내구성을 제공합니다. 이 기계 는 최고 수준 의 안전 표준 을 충족 시키도록 설계 되었으며, 모든 부품 과 부품 은 부식, 열, 충격 을 견딜 수 있도록 제작 되었습니다. 검사 툴은 또한 낮은 유지 보수 설계 (maintenance design) 를 통해 설계되었으며, 최소한의 서비스 요구 사항을 충족하며, 7 년 무상수리가 제공됩니다. 요약하면, CI 9450은 반도체 제조 공정의 오류 및 오염을 감지하도록 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 사용자 정의 구성, 2 개의 이미징 경로, 자동 캐리어 처리 (Automated Carrier Handling) 및 고급 분석 기능을 지원하는 모듈식 설계 기능이 제공됩니다. 또한, 이 모델은 산업 등급의 안정성, 내구성 및 장기 사용을 위해 안전성을 고려하여 설계되었습니다.
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