판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 #293800808

KLA/ICOS CI 9450은 최첨단 이미징 기술을 사용하여 웨이퍼/마스크 결함 검사에 대한 업계 최고의 성능과 정확성을 제공하는 고속 마스크/웨이퍼 검사 장비입니다. KLA CI 9450 시스템은 고급 전송 이미징 장치 (Advanced Transmissive Imaging Unit) 를 사용합니다. 고급 조명 소스와 결합된 높은 다이내믹 레인지 카메라를 사용하여 크기와 복잡성에 관계없이 대비가 높은 매우 상세한 이미지를 캡처합니다. 이 기계는 또한 근적외선 및 가시광선 방출 다이오드 결함을 감지 할 수 있습니다. ICOS CI-9450은 고급 SPC (Statistical Process Control) 기능을 제공하여 검사 기준, 자동 결함 분석 및 분류를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 오버레이 기준을 정확하게 제어할 수 있으며, 이상값을 자동으로 검색, 거부할 수 있습니다. 이 도구는 IC-TRACKER ™ 결함 추적 소프트웨어와 통합되어 통합 결함 추적 프로세스를 제공합니다. 이 기능은 다양한 마스크 패턴에서 테스트되어 정확성과 안정성을 보장합니다. KLA/ICOS CI-9450은 검사 프로세스 전반에 걸쳐 높은 수준의 자동화를 제공합니다. Wafer 및 Photo-Mask Stage 포지셔닝 및 Focus를 자동으로 제어하고 자동화된 결함 분류 및 등급을 수행합니다. 또한 자동 다이 투 다이 (Die-to-Die) 비교 모드를 제공하여 단일 실행에서 여러 마스크 패턴을 확인할 수 있습니다. CI 9450 은 자동화된 기능 외에도, 기능을 향상시키는 다른 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 조정 가능한 결함 민감도 설정, 조정 가능한 결함 분류 기준, 현지화된 이미지 변형 또는 다이 투 다이 (die-to-die) 불일치의 경우 경고 매개변수, 온보드 검사 템플릿 라이브러리가 포함됩니다. 전반적으로, KLA CI-9450은 세계적인 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로, 웨이퍼 및 마스크 결함 검사에 대한 업계 최고의 성능과 정확성을 제공합니다. 고급 이미징 기술, 자동화 기능, Statistical Process Control (통계 프로세스 제어) 기능을 통해 모든 장애 분석 환경에서 강력하고 안정적인 툴을 구축할 수 있습니다.