판매용 중고 KLA / ICOS CI 9450 Rev. 5 #9016183

KLA CI 9450 Rev. 5는 다결정 재료의 정렬 및 제어에서 표면 결함 및 결함을 감지하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 반도체 표면 공정의 검출에 적합하며, 고립 된 비 주기적 결함을 최대 5 nm (5 nm) 의 불규칙한 결함까지 감지 할 수 있습니다. CI 9450은 탁월한 신호 대 소음 성능을 위해 특허를 받은 Quad-Pixel ™ 기술이 적용된 정교한 고해상도 광학 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 향상된 신호 대 배경 명암과 고해상도 결함 감지를 위한 향상된 기능을 제공합니다. 이 장치에는 장거리 (LWD) 에서 고수 조리개 (NA) 에 이르는 목표가 있습니다. 이를 통해 가장 어려운 프로세스 조건도 대폭 검사할 수 있습니다. 이 시스템은 데이터 운영 및 관리를 위해 Windows 기반 소프트웨어 제품군으로 구동됩니다. 직관적인 사용자 인터페이스, 강력한 이미지 분석 알고리즘, 자동화 기능 등이 포함되어 있습니다. 이미지 분석은 결함 감지, 분류, 검토, 보고, 정렬 등 다양한 기본/고급 기능을 통해 원활하게 수행됩니다. 효율적인 데이터 분석 및 장애 안전 (failsafe) 작업을 위해 포괄적인 SPC (wafer 독립형 통계 프로세스 제어) 도구를 사용할 수 있습니다. CI 9450은 또한 로봇 1 패스 검사를위한 정교한 5 축 단계를 특징으로하며, 진동이 감소하여 고속 작동이 가능합니다. 스마트한 수익률 매핑 (Smart Yield Mapping) 기술은 자동으로 시야와 커버리지 비율을 최적화하여 최고 수준의 가동 시간을 보장합니다. 이 도구는 또한 이중 축 스테이지 동작 제어 및 교차 축 드리프트 보정을 제공하여 정확도를 높입니다. 전체적으로 ICOS CI 9450 Rev. 5는 매우 작은 결함을 감지 할 수있는 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 정교한 광 및 이미지 처리 기능, 강력한 Windows 기반 소프트웨어 제품군, 로봇 원 패스 검사를위한 5 축 단계를 제공합니다. CI 9450 은 이러한 기능을 결합하여 연구/운영 애플리케이션 모두에 이상적인 솔루션이 됩니다.