판매용 중고 KLA / ICOS CI 8250 #9156475

KLA/ICOS CI 8250은 대용량 반도체 생산을 위해 개발 된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 비접촉 (non-contact) 광학 이미징 기술이 적용되었으며 5배 ~ 800배까지 광범위한 확장이 가능합니다. 이를 통해 장치가 25 나노 미터까지 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 특허를받은 DLI (Dual-Light Laser Illumination) 기능을 가지고 있으며, 이는 패턴 또는 고장을 포함한 문맥 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 도구에는 다양한 소프트웨어 기능도 포함되어 있습니다. 마스크 (Mask) 나 웨이퍼 (Wafer) 에 있는 피쳐를 자동으로 식별하고, 일반적인 결함을 확인한 다음, 그에 따라 웨이퍼를 거부 또는 수락할 수 있는 소프트웨어가 있습니다. 이 자산은 인라인 (in-line), 격리 (isolated) 또는 랜덤 (random) 분포를 포함하여 다양한 패턴과 피쳐를 정확하게 검색할 수 있습니다. 또한 다중 뷰 결함 검토 및 결함 계산 기능도 있습니다. KLA CI 8250의 추가 기능에는 자동 초점, 노출, 마스크 기울기 기능 뿐만 아니라 완전 자동 웨이퍼 정렬 모델이 포함됩니다. 이를 통해 기능을 효과적으로 조정할 수 있고, 이미징 장비는 웨이퍼 (wafer) 나 마스크 (mask) 에 대한 완벽한 초점을 유지할 수 있습니다. ICOS CI-8250에 포함 된 소프트웨어에는 실시간 결함 감지 및 분석이 가능한 OIA (Online Imaging Analysis) 시스템이 포함되어 있으며, 빠르고 정확한 자동 결함 분류를위한 DDR (Direct Defect Recognition) 장치도 있습니다. CI-8250은 가장 까다로운 반도체 생산 환경을 위해 설계된 고성능 검사 머신입니다. 조그만 결함 을 신속 하고 정확 하게 탐지 할 수 있으며, 생산 "라인 '과 연구" 랩' 에서 모두 사용 할 수 있다. 광범위한 확대, DLI 기능, 소프트웨어 기능을 통해 가장 향상된 Wafer 및 Mask 검사 시스템 중 하나입니다.