판매용 중고 KLA / ICOS CI 8250 #9124473

KLA/ICOS CI 8250은 정밀한 마스크 및 웨이퍼 검사 어플리케이션을 위해 설계된 완전 자동화 된 고급 검사 장비입니다. 고급 옵틱 (Optic), 고해상도 컬러 이미징 (Color Imaging), 자동 프로빙 스테이션 (Automated Probing Station) 이 장착되어 있어 결함을 신속하게 감지하고 수정할 수 있습니다. KLA CI 8250은 머신 러닝 (machine learning) 기술을 통합하여 변화하는 조건에 맞게 조정하고, 허위 양성을 최소화하고, 운영자 개입 없이 처리량을 향상시킬 수 있습니다. 검사 시스템에는 멀티플렉싱 컬러 이미징 장치가 장착되어 있으며, 2048 x 1536 픽셀 해상도의 고속 컬러 카메라 4 개가 동시에 제공됩니다. 내장형 블루 LED (Blue LED) 광원은 균일한 밝기를 제공하며 이미징 성능을 향상시킵니다. 이미징 머신은 입자, 긁힘, 공백, 금속 필름 균열 등 다양한 마스크 및 웨이퍼 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 경유 (via) 및 선형 (line-edge) 거칠기를 검사하여 이러한 유형의 결함을 인식하고 수정할 수 있습니다. ICOS CI-8250에는 고속 프로빙 스테이션 (High Speed Probing Station) 이 있으며, 이를 통해 생산에 가기 전에 미세 결함을 캡처 할 수 있습니다. 스테이션에는 듀얼 축 동력 스테이지와 HD 카메라가 장착되어 있습니다. 이미징 자산은 한 위치에서 각 웨이퍼의 이미지 4 개, 1 초에 이미지 최대 8 개를 캡처 할 수 있습니다. 고속 스캐닝 프로세스는 고품질 이미지를 보장하며, 모델에 정확한 결함 위치 (defect location) 정보를 제공합니다. 검사 장비는 고급 소프트웨어 (advanced software) 에 의해 구동되며, 빠르고 정확하게 결함을 감지하고 수정할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 머신 러닝 (machine learning) 알고리즘을 통합하여 광학 시스템이나 웨이퍼 (wafer) 기능의 변화에 적응할 수 있습니다. 이 장치는 알고리즘을 사용하여 이전 검사 실행에서 수집한 데이터 (처리량 향상) 에 따라 매개변수를 최적화합니다. 또한, 소프트웨어를 사용하여 운영자는 사용자 정의 검사 레시피를 쉽게 만들 수 있습니다. CI-8250 은 품질을 보장하고 비용을 절감하기 위해 다양한 품질 관리 기능을 내장하고 있습니다. 통합된 데이터 분석 기능과 지능형 거부 알고리즘을 통해 잘못된 (false-positive) 거부를 줄일 수 있습니다. 또한 강력한 오류 감지 장치를 사용하여 운영 오류를 제거합니다. 또한, 이 툴의 교육 모듈 (training module) 에서는 자산 운영 및 결과 해석에 대한 자세한 지침을 제공합니다. KLA CI-8250 (KLA CI-8250) 은 까다로운 마스크 및 웨이퍼 검사 어플리케이션의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 안정적이고 정확한 검사 모델입니다. 고급 광학 장치 (Optics), 이미징 장비 (Imaging Equipment), 자동 프로빙 스테이션 (Automated Probing Station), 기계 학습 기술 및 데이터 분석 기능을 통해 결함을 빠르고 정확하게 감지하고 수정할 수 있습니다. 기본 제공되는 품질 제어 (Quality Control) 기능은 시스템의 효율성을 더욱 높이고 생산 출력이 사양 내에 있는지 확인합니다.