판매용 중고 KLA / ICOS CI 8250 #9111213

KLA / ICOS CI 8250
ID: 9111213
Inspection system Currently non-operational.
KLA/ICOS CI 8250은 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 자동 도구는 고급 광/소프트웨어 시스템을 결합하여 검사 프로세스 중 웨이퍼의 잠재적 결함을 빠르고, 정확하게 감지, 분류, 측정합니다. KLA CI 8250은 5 나노 미터 해상도의 고해상도 브라이트필드 광학 현미경과 병렬 접촉 개별 스팟 패턴 인식 시스템을 사용합니다. 이를 통해 단위는 스크래치, 입자 파편, 선 모서리 거칠기, 구멍, 부분 전위 등 다양한 결함을 캡처, 분류 및 측정할 수 있습니다. 머신은 또한 임계 치수의 변화를 감지하여 효율적인 품질 제어를 가능하게 할 수 있습니다. ICOS CI-8250은 고급 소프트웨어 기능도 제공합니다. 여기에는 결함 이미지 분석 소프트웨어 (IMAX), 결함 검토 소프트웨어 (FOTOS) 및 WAVE (Scan-to-Review Software) 를 포함하여 결함 분석을 지원하는 소프트웨어 툴이 포함되어 있습니다. 이러한 도구를 사용하면 결함을 신속하게 분류, 정량화하고, 결함이 임계값을 초과할 때 프로세스 엔지니어에 알릴 수 있습니다. 또한 CI 8250 은 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하므로 효율적이고 직관적인 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 고급 로봇 자동화를 통해 자동 샘플 처리 및 정렬을 허용합니다. 플랫 웨이퍼 샘플 홀더, 신호 무결성 어레이 샘플 홀더, 단계 및 반복 샘플 홀더를 포함한 여러 샘플 홀더를 사용할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 다양한 검사 및 분석 애플리케이션을 위해 CI-8250 을 최적화할 수 있습니다. 요약하자면, KLA CI-8250 마스크 및 웨이퍼 검사 도구는 강력한 광학/소프트웨어 시스템을 제공하여 검사 프로세스 중 잠재적 결함을 빠르고 정확하게 평가합니다. 이 자동화된 도구는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 고안되었으며, 고급 로봇 자동화 (robotic automation), 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface), 결함 분석을 지원하는 소프트웨어 도구 모음을 갖추고 있습니다.
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