판매용 중고 KLA / ICOS CI 8250 #9110005

ID: 9110005
Inspection system.
KLA/ICOS CI 8250은 중요한 반도체 처리 단계의 대용량, 고밀도 실행을 위해 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA CI 8250 은 최신 이미지 처리/결함 감지 기술을 최첨단 조합하여 마스크와 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 신속하고 정확하게 식별할 수 있도록 합니다. 제조 공정 (Manufacturing Process) 초기에 오류를 감지하고 수정함으로써, 시스템은 재작업 지연 (Delayed Rework) 과 관련된 비용을 절감하고 손실 발생에 도움이 될 수 있습니다. ICOS CI-8250에는 고해상도 라인 공간 패턴 그리드를 충실히 샘플링하기 위해 고급 무한대 수정/아포크로매틱 (apochromatic )/계획-수정 된 오브젝티브 렌즈 (objective lens) 를 갖춘 고급 광학 장치가 장착되어 있으며, 이는 결함 탐지의 정확성 향상에 필수적입니다. 사용자 정의 가능한 조명은 가변 영역 조명 패턴을 특징으로하며, 마스크 및 웨이퍼 결함 검사를 가능하게 하며, 유연성과 최적의 균일성을 제공합니다. CI-8250 은 여러 가지 장치 별 결함 측정 (device-specific defect measurement) 을 통합하여 고정밀 결함 측정을 수행할 수 있습니다. 내장된 고해상도 3D 검사 기술은 70nm까지 장치 기능을 측정할 수 있으며, 전례없는 정확도로, 최적의 식별과 분류를 가능하게 합니다. 또한 이 기계는 효율성 향상을 위해 유연한 마스크/웨이퍼 (mask/wafer) 정렬을 지원하며, 30nm 오버레이 정확도로 패턴 유형을 식별하고 정렬할 수 있습니다. ICOS CI 8250 의 강력한 분석 (analytics) 기능은 다양한 다른 소스에서 복잡한 독점 데이터의 소음을 줄일 수 있습니다. 이 툴을 사용하면 강력한 예측 알고리즘과 제조 현장 (manufacturing floor) 의 여러 소스에서 수집한 프로세스 데이터 (process data) 를 결합하여 예측 분석이 가능합니다. 이를 통해 향후 디바이스 성능에 대한 통찰력을 제공하여 사전 해결 전략을 구현할 수 있습니다. 예측 분석은 또한 최적화된 수율 결과를 위해 장치 수준 결함을 식별, 트리징 및 분류하는 데 도움이 될 수 있습니다. 이 자산은 또한 XML, JSON, MQTT와 같은 표준 웹 언어를 지원하므로 XML과 외부 시스템 간에 원활한 데이터 교환이 가능합니다. 또한 JTAG, IEEE1532 Standard Edition 2를 포함한 주요 소프트웨어와도 호환됩니다. 또한 최고의 서비스 품질 (Quality of Service) 에 대한 우선 순위 지원 및 엄격한 공장 인증 프로세스에 의해 백업됩니다. 전체적으로, 신뢰할 수 있고 포괄적인 CI 8250은 대용량, 높은 정확도 마스크 및 웨이퍼 검사에 이상적인 선택입니다. 마스크/웨이퍼 (Mask/Wafer) 를 매우 정확하게 측정하고 평가하며 효율적이고 효과적인 장치 검사를 위한 예측 분석이 가능합니다.
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