판매용 중고 KEM / KOKUSAI VR-70 #9157351

KEM/KOKUSAI VR-70은 포토 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 광학 검사, 결함 분류, 결함 수, 인쇄, 평평, 다이 표면 및 웨이퍼 평평 측정을 포함한 여러 검사를 수행합니다. 이 시스템은 고급 고해상도 이미지 형성 장치 (Advanced High Resolution Image Formation Unit) 를 사용하여 뛰어난 반복성과 정확도로 Photomask 또는 웨이퍼 표면의 실시간 이미지를 얻습니다. 그런 다음, 입수 한 이미지는 초고속 레이저 이미징 머신과 결함 위치 및 분류를위한 빠른 다이 레벨 검사 알고리즘 (fast die-level inspection algorithm) 에 의해 처리됩니다. KEM VR-70은 3,000 웨이퍼/시간의 처리량을 갖춘 고속 검사 속도를 제공합니다. 이 도구는 파장 532nm의 빔포밍 (beamforming) 기술을 사용하여 최대 250 프레임/초의 프레임 속도, 최대 75nm의 이미지 품질 해상도를 제공합니다. 그런 다음, 입수 한 이미지는 결함 감지, 분류 및 수에 대한 고급 웨이퍼 표면 분석을 받습니다. 결함 (예: 장애, 패턴, 인쇄 오류) 을 감지하고 분류할 수 있으며, 정확성과 신뢰성이 높습니다. 또한 KOKUSAI VR-70 자산은 자동화되고 사용자 친화적인 운영자 인터페이스 (operator interface) 를 제공하여 사용자가 효율적으로 측정을 설정하고, 결과를 분석하고, 품질을 확인할 수 있습니다. 이 모델에는 다양한 인쇄 크기의 안정적이고, 고해상도이며, 안정적인 웨이퍼 평탄도 측정을 제공하는 선형 회절 LDSS (Grating Scanning Equipment) 가 있습니다. 이 시스템은 표면 토폴로지 (surface topology) 에 대한 엄격한 요구 사항을 충족시키기 위해 정확한 표면 진동 및 기울기 (tilt) 측정을 제공 할 수 있습니다. 요약하면, VR-70은 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장치로서, 포토 마스크 및 웨이퍼 표면을 검사하는 데 높은 성능, 정확성, 신뢰성을 제공합니다. 고급 고해상도 이미지 형성 머신, 초고속 레이저 이미징 도구, 다이 레벨 검사 (die-level inspection) 알고리즘이 장착되어 있어 웨이퍼 표면의 결함을 빠르고 정확하게 감지, 분류, 계산할 수 있습니다. 이 모델은 또한 자동화되고 사용자 친화적 인 연산자 인터페이스와 정확한 표면 토폴로지 측정을 위해 선형 회절식 LDSS (Grating Scanning Equipment) 를 갖추고 있습니다.