판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC BA300-MIT #9158291

ID: 9158291
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Automated inspection tool, 12" 2006 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC BA300-MIT는 포토 마스크 및 프런트 엔드 웨이퍼 처리에 대한 고해상도 이미징 및 자동 결함 감지를 제공하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 제품은 최대 25m 의 결함 적용 범위를 제공하도록 설계되었으며, 다른 마이크로 리토 그래피 (micrelithography) 도구와 함께 독립형 도구로 사용할 수 있습니다. MICROTEC BA300-MIT (MICROTEC BA300-MIT) 는 고정밀 자동 웨이퍼 전송 시스템을 갖추고 있어 장치의 균일하고 안정적인 작동을 보장합니다. 이 기계는 또한 높은 해상도와 대비를 달성하기 위해 미세 조정 할 수있는 광학을 특징으로합니다. 이 기계는 백그라운드 노이즈를 줄이기 위해 작은 시야 이미징 (field of view imaging) 과 함께 사용하도록 최적화되었으며, 이중 원격 중심 도구를 사용하여 이미지를 캡처합니다. 이는 정확하고 일관된 결과를 보장합니다. KARL SUSS BA300-MIT는 이미징 기능 외에도 통합 마이크로 칩 카메라도 갖추고 있습니다. 이 카메라는 결함을 포착하고, 검사 데이터를 효율적으로 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 넓은 다이내믹 레인지 (Dynamic Range) 를 탑재해 표면 (Surface) 과 지표면 (Subsurface) 결함을 정확하게 감지하고 측정하며 정확도가 높습니다. "카메라 '는 또한 검사 과정 중 의 배경 소음 과 기타 왜곡 을 최소화 하도록 설계 되었다. 마스크 & 웨이퍼 검사 (Mask & Wafer Inspection) 자산에는 자동 Make-Rung 검사가 포함되어 있으며, 이는 심각한 결함을 감지하고 분리하는 데 사용됩니다. 이 프로세스는 허위 (false positive) 를 제거하고 결함 복구 비용을 줄여 제품 수율을 향상시킵니다. 이 모델에는 또한 스캔된 샘플에서 개별 결함을 격리하고 식별하는 결함 분석 알고리즘 (defect analysis algorithm) 이 포함되어 있습니다. BA300-MIT는 자동 결함 감지 및 검사 외에도 텍스트 인식을위한 OCR 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 샘플의 패턴과 기호를 빠르게 읽고 해석하는 데 사용할 수 있습니다. 이 패턴과 기호는 결함을 정확하게 분류하고, 장치의 전반적인 정확도를 향상시키는 데 사용될 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC BA300-MIT는 안정적이고 정확한 결과를 제공하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 기계입니다. 고해상도 이미징 및 자동 결함 감지 (automated defect detection) 기능을 통해 프런트엔드 웨이퍼 프로세싱에 이상적인 툴이 됩니다. 내장형 마이크로칩 (microchip) 카메라와 높은 다이내믹 레인지 (dynamic range) 를 통해 중요한 결함을 빠르고 정확하게 파악할 수 있습니다. 자산의 자동 검사 기술 (Automated Inspection Technology) 과 OCR 모델은 또한 잘못된 양의 감지 및 결함 수리와 관련된 비용을 줄이는 데 도움이됩니다.
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