판매용 중고 K-MAC SpectraThick #9151983

ID: 9151983
웨이퍼 크기: 4"
Thickness measurement system, 4" Currently de-installed.
K-MAC SpectraThick은 반도체, 태양광 산업 등의 제조 및 제조 공정을 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장비입니다. 이 시스템은 주사 전자 현미경 (SEM) 과 자동 광검사 (AOI) 기술을 결합하여 미세 구조의 우수한 측정 정확성과 세부 분석을 제공합니다. SpectraThick을 사용하면 마스크 및 웨이퍼에서 고해상도 미크론 레벨로 쉽게 결함을 감지 할 수 있습니다. 검사 장치는 최첨단 1D (깊이) 감지 픽셀 아키텍처를 사용하여 정확한 다이 투 다이 결함 탐지를 수행합니다. 액티브 포커싱 (active focusing) 과 하이 레이트 스캔 이미징 (high-rate scan imaging) 을 사용하여 서브 미크론 결함의 크기와 모양을 모두 측정합니다. 이것은 전반적인 결함 감지 정확도를 크게 향상시킵니다. 이 기계는 자동화 된 광학 검사 도구, 결함 이미징 자산, 스캐닝 전자 현미경, 제어 모델 등 몇 가지 정교한 모듈식 서브 어셈블리를 통합합니다. 모든 서브시스템 (서브시스템) 은 전기적으로 연결되어 있으며, 대형 컴퓨터 장비와 통합되어 서로 통신할 수 있습니다. 제어시스템 (Control System) 은 다양한 유형의 결함을 인식하고 분류하는 등 다양한 카메라 기능을 관리합니다. K-MAC SpectraThick은 또한 파라 메트릭 및 항복 분석을 할 수 있습니다. 광범위한 도량형 기능을 통해 사용자는 부품을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 고급 알고리즘을 활용하여 여러 데이터 세트의 패턴을 빠르고 정확하게 식별할 수 있습니다 (영문). 이 장치는 고급 결함 감소를 위해 설계되었습니다. 강력한 결함 분석 (Failect Analysis) 과 예후 (Prognostic) 소프트웨어가 장착되어 있어 사용자가 프로세스에 대한 귀중한 통찰력을 얻을 수 있습니다. 이 데이터를 사용하여 사용자는 수율 향상을 위해 수정 조치를 취할 수 있습니다. 또한 SpectraThick은 최고 수준의 보안 및 데이터 보호를 제공합니다. 암호화와 보안 인증 프로토콜과 같은 정교한 보안 조치를 채택하고 있습니다 (영문). 이러한 조치는 기계의 민감한 데이터와 지적 재산을 보호하기 위해 고안되었습니다. K-MAC SpectraThick은 모두 고급, 매우 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. EMC VTL (Virtual Tape Feature) 솔루션 의 포괄적인 기능을 활용하면 제품의 품질이 가장 높은 기준에 부합하도록 보장하는 한편, 프로세스를 자세히 분석할 수 있습니다 (영문).
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