판매용 중고 K-MAC Spectrathick #9144235

K-MAC Spectrathick은 마이크로 칩 부품 제조에 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 가 제조 및 대량 생산 을 위해 출하 되기 전 에 존재 할 수 있는 결함 을 검사 하는 데 사용 된다. 이 시스템은 여러 광학 현미경, 분광기 및 3 차원 디지털 영상 장치를 갖춘 5 축 기계를 사용합니다. 5축 머신은 두 축 (x축 및 y축) 을 사용하여 스테이지의 이동과 위치를 제어합니다. 스테이지의 운동 범위는 0.2mm에서 700mm입니다. 세 번째 축은 기계가 샘플 객체에 대한 포커스를 1X에서 65X로 조정할 수 있도록 하는 포커스 (focus) 입니다. 네 번째 축 은 "샘플 '을 광학 현미경 앞 으로 옮겨" 샘플' 의 여러 부분 을 동시 에 검사 한다. 최종 축 (final axis) 은 샘플 뒤집기 메커니즘을 사용하여 샘플의 양면을 뒤집지 않고 봅니다. 광학 현미경 (optical microscope) 은 샘플의 다양한 영역을 고해상도로 검사하는 기능을 제공합니다. 이 도구는 밝은 필드 (field) 및 어두운 필드 이미징 (dark field imaging) 기술을 사용하여 샘플의 결함 또는 불규칙성을 평가합니다. 분광계는 샘플의 각 지점을 분석하여 스펙트럼 분석을 제공합니다. 이것은 샘플의 물질의 화학 성분에 대한 정보를 제공합니다. 디지털 이미징 에셋은 전체 샘플의 이미지를 3 차원으로 캡처하는 데 사용됩니다. 이미지를 이미지 아카이브 모델 (image archive model) 에 저장합니다. 이 모델을 사용하여 샘플의 일부를 여러 단계 (fabrication) 로 보고 비교할 수 있습니다. 장비는 또한 품질 관리 (Quality Control) 를 통해 모든 부품이 출하되기 전에 필요한 표준을 충족하도록 합니다. Spectrathick은 대량 생산 전에 마스크와 웨이퍼 부품을 검사하는 신뢰할 수 있고 정확한 방법을 제공합니다. 이 시스템은 결함이 있는 부품의 위험을 줄이고, 생산된 부품이 필요한 표준을 충족하도록 합니다 (영문).