판매용 중고 IRVINE OPTICAL Ultrastation #293792555

ID: 293792555
Wafer inspection system.
어바인 광학 초음파 (IRVINE OPTICAL Ultrastation) 는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 결함 밀도, 정확도, 반복성 및 처리량이 낮은 측면에서 우수한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 wafer 및 reticle 검사, 표면 및 인터페이스 분석, 마이크로 일렉트로닉 프로세스 평가의 자동 광학 검사 및 도량형 요구에 이상적입니다. 초고화질 (Ultrastation) 은 뛰어난 이미징 및 밝은 필드 조명을 제공하는 고급 광학 디자인을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 X, Y, Z 방향으로 정확하게 움직일 수있는 높은 정확도 기계적, 광학 단계가 장착되어 있습니다. 이 첨단 기술을 사용하면 각 측정에 대해 매우 정확하고 반복 가능한 프로파일을 제공할 수 있습니다. 이 기계에는 모든 유형의 마스크 및 웨이퍼 이미지를 캡처하기위한 고해상도 카메라 (High Resolution Camera) 와 표면, 변형 및 필름 두께 측정을위한 IR 민감도 검사 카메라 (IR Sensitive Inspection Camera) 가 포함되어 있습니다. 최대 정확도를 보장하기 위해 IRVINE OPTICAL Ultrastation은 고정밀 정렬 도구를 사용합니다. 이 자산은 검사 장비를 정렬하고 전체 분석 프로세스 전반에 걸쳐 적절한 초점을 맞추는 데 도움이 됩니다. 또한, Ultrastation은 photolithography 구조를 측정하고, 잠재적 오류를 정확하게 식별하고, 불규칙성을 신속하게 해결하기 위해 QuadLight albedo 컨투어링 도구로 설계되었습니다. IRVINE OPTICAL Ultrastation은 또한 고급 소프트웨어를 사용하여 각 분석이 최고 품질 표준을 충족하는지 확인합니다. STORM 소프트웨어 제품군은 Windows 플랫폼에서 실행되며, 예제 이미지를 측정, 이미지 처리, 분석할 수 있는 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공합니다. 분석 기능에는 자동 테이블 감지, 격자 정의, 요소 영역 정의, 모서리 감지, 섬 분석, 크로스해칭 분석, 위상 분리 분석 및 레이어 시프트 분석이 포함됩니다. 이 외에도 Ultrastation에는 고가의 다중 단계 (Multiple Stage) 를 방지하고 리소그래피 필드, 라인, 원 및 기타 기능과 같은 기능을 실시간으로 식별할 수 있도록 하는 독특한 Spatial Phase Analysis 기술이 있습니다. 간단히 말해서, IRVINE OPTICAL Ultrastation (IRVINE OPTICAL Ultrastation) 은 사용자에게 웨이퍼 및 마스크의 검사 및 분석을 최적화하는 포괄적 인 기능을 제공하는 다목적 모델입니다.
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