판매용 중고 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3E #9157328
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IRVINE OPTICAL Ultrastation 3E (IRVINE OPTICAL Ultrastation 3E) 는 사용자가 최고의 프로세스 제어 및 결함 감지를 달성하도록 설계된 고급 멀티 애플리케이션 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 최신 optics 및 electronics를 사용하여 고해상도 (high resolution), 속도 (speed), 유연성 (flexibility) 의 독특한 조합을 제공합니다. 반도체 마스크, 웨이퍼, 기판에 대한 다양한 검사 요건을 충족하도록 설계되었습니다. 초고속 (Ultrastation) 3E는 고속 옵티컬 캡처를 갖춘 고급 이미징 기술을 통해 처리량과 정확도를 극대화합니다. 또한 이 장치에는 향상된 이미지 표시 및 처리를 지원하는 전용 Viewer 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 자동 명암비 및 밝기 향상과 함께 극축 기울기 (polar-axis tilt) 를 수정하는 고배율 광학을 제공합니다. 또한, 자유롭게 회전 가능한 편광 조명 기계는 유연한 시야각으로 고정밀 정렬을 제공합니다. 최적의 검사 및 데이터 분석을 위해 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3E는 고해상도 디지털 광원과 고급 검사 기술을 사용합니다. 이러한 스캔 및 이미징 기능을 통해 사용자는 감도 향상을 통해 기능을 0.25äm까지 검사 할 수 있습니다. 향상된 감도를 통해 사용자는 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면을 가로 질러 1 ~ 2으로의 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 3E 초고화질 (3E Ultrastation) 도구는 특정 사용자 요구를 충족할 수 있는 정확성과 반복성을 제공하는 다양한 기본 설정 (preference setting) 과 함께 사용할 수 있습니다. 사용자는 자산에 의존하여 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사에 가장 높은 수준의 정확도, 안정성, 반복성을 가질 수 있습니다. 출력된 데이터는 ASCII 또는 원시 (raw) 형식으로 저장되어 필요한 경우 추가 검사 및 분석을 수행할 수 있습니다. 3E 초고화질 (3E Ultrastation) 은 독립 실행형 (Standar-Alone) 모델로 사용되거나 더 큰 검사 장비에 통합되어 공정 처리량을 높일 수 있습니다. 초고속 3E (Ultrastation 3E) 는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 툴로, 사용자가 최고의 수준의 프로세스 제어 및 결함 감지를 달성할 수 있도록 도와줍니다. 고해상도 디지털 광원 (digital light source), 고급 이미징 (advanced imaging) 및 데이터 알고리즘 (data algorithm), 유연한 시야각을 통해 사용자는 이제 마스크 및 웨이퍼 검사를 통해 정확성과 반복성을 향상시킬 수 있습니다. IRVINE OPTICAL Ultrastation 3E 시스템은 사용자에게 최고 수준의 결함 감지를 제공할 수 있는 안정적이고 효율적인 도구를 제공하도록 설계되었습니다.
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