판매용 중고 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3E #150934

ID: 150934
Wafer inspection system.
IRVINE OPTICAL Ultrastation 3E는 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 포괄적인 패턴 분석 및 프로세스 문제 해결을 위한 탁월한 이미징 기술을 제공합니다. 이 시스템은 강력한 고해상도 광학 장치를 사용하여 포토마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 에 작은 결함과 불균일성을 감지합니다. Ultrastation 3E는 광학 및 음향 광학 (optical and acousto-optical) 의 두 개의 검출기를 사용하여 마스크 또는 웨이퍼에 얇은 구조의 층을 정확하게 이미지합니다. 광학 탐지기 (optical detector) 는 특수 광학 현미경을 사용하여 마스크 및 웨이퍼 표면의 고해상도 이미지를 캡처합니다. 음향 광학 검출기는 음향 결정을 사용하여 마스크 또는 웨이퍼의 구조적 비 균일 성을 검출합니다. 두 가지 기술을 결합함으로써, IRVINE OPTICAL Ultrastation 3E는 매우 짧은 파장의 빛에서도 정확한 이미지와 미세한 결함을 식별 할 수 있습니다. 초고속 3E (Ultrastation 3E) 는 가변 확대 및 회전 기능과 같은 고급 이미징 기능도 갖추고 있어 매우 정확하게 검사할 수 있습니다. 또한, IRVINE OPTICAL Ultrastation 3E는 현미경의 밝기 설정을 선택적으로 제어하여 관측에 필요한 양의 빛만 측정합니다. 이를 통해 이미지 처리 결과가 향상되고 마스크 검사 해상도가 향상됩니다. 초고속 3E (Ultrastation 3E) 는 내구성과 안정성이 뛰어난 플랫폼으로 인해 수명이 길고 안정적인 성능을 제공합니다. 이 기계는 다양한 온도, 압력, 습도 조건, 낮은 빛 조건에서 작동하도록 설계되었습니다. 또한 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3E는 중복 공기 흐름 도구를 사용하여 자산 먼지를 방지하여 유지 관리 요구 사항을 줄입니다. Ultrastation 3E가 수집한 데이터는 고성능 분석 도구를 통해 분석 및 검토할 수 있습니다. 이 모델은 프로세스 및 재료 장애를 파악하고, 프로세스 성능을 분석하고, 결함을 검색할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 사용이 간편한 그래픽 인터페이스 (GRAPHICAL Interface) 를 통해 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3E 는 프로세스 엔지니어에게 귀중한 지원을 제공하여 설계 프로세스 초기에 문제를 파악하고 해결하는 데 도움을 줍니다. 초고속 3E (Ultrastation 3E) 는 마스크 및 웨이퍼 검사에 이상적인 솔루션으로, 고해상도에서 정확한 이미징 및 프로파일링 능력을 제공합니다. 고급 분석 도구와 탁월한 이미징 기능을 결합한 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3E는 반도체 산업에 귀중한 도구입니다.
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