판매용 중고 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B Model 2 #9157323

IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B Model 2
ID: 9157323
웨이퍼 크기: 6"
Wafer inspection system, 6" NIKON BD Plan optics Trinocular head.
IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B Model 2는 반도체 제작 프로세스에 사용할 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 리소그래피에서 도전적인 마스크 패턴을 사용하여 작업하는 효율적인 도구를 제공합니다. 또한 모서리 결함을 포함한 임의의 결함 위치를 분석 할 때 잘 작동하도록 설계되었습니다. 초고속 3B (Ultrastation 3B) 는 최대 200um × 200mm의 전동 xy 스테이지를 특징으로하여 높은 수준의 정확도를 제공합니다. 스테이지는 비디오 속도의 정확성, 부드러운 동작, 정확한 위치를 제공하는 작업입니다. 이 장치에는 더 빠른 도구를 제공하는 향상된 자동 정렬 (auto-alignment) 소프트웨어가 포함되어 있어 도구 설정 프로세스와 관련된 다운타임이 더욱 단축됩니다. Ultrastation 3B는 브라이트필드 조명 장치 (brightfield illuminator) 를 사용하여 마스크와 웨이퍼에 대한 에지 검사에 대한 뛰어난 가시성을 제공합니다. 울트라스테이션 3B (Ultrastation 3B) 는 최적화된 텔레콤 카메라와 결합한 밝은 조명을 통해 고해상도로 낮은 수준의 결함을 감지할 수 있습니다. 이 기계의 이미지 캡처 속도는 초당 최대 19 프레임 (이미지 획득 품질) 입니다. 또한이 도구의 카메라는 향상된 이미징 효과를 위해 3D 적응 광학을 통합합니다. Ultrastation 3B에는 마스크 및 웨이퍼 처리를위한 이중 축 전송 로봇도 포함되어 있습니다. 로봇은 자동 칩 캡처 장치를 포함하는 수송 암을 사용합니다. 칩 캡처 장치 (Chip-Capture Unit) 는 가장자리나 칩 자체를 손상시키지 않고 대상을 빠르게 찾고 마스크 또는 웨이퍼를 캡처할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다. IRVINE OPTICAL ULTRASTATION 3.B MODEL 2는 매우 정교하고 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 마스크 & 웨이퍼 (Mask & Wafer) 검사와 관련하여 업계를 선도하는 종합적인 고품질 머신을 제공하는 최신 기술을 결합한 "마스크 (Mask) '다. 초고속 3B (Ultrastation 3B) 는 완벽한 맞춤형 구성으로 다양한 웨이퍼 패턴 검사 요구에 대한 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이 모델은 반도체 전문가의 선택이며, 앞으로 몇 년 동안 웨이퍼 패턴 검사 시스템 (Wafer Pattern Inspection System) 에서 최상위, 비용 효율적인 안정적인 선택으로 남아 있습니다.
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