판매용 중고 INTELLEMETRICS IL-510 #123172

INTELEMETRICS IL-510 (INTELEMETRICS IL-510) 은 리소그래피 검사의 정확하고 안정적인 분석 측정을 제공하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 고급 시스템은 다양한 고급 광학 및 이미징 (optical and imaging) 기술을 통합하여 사진 분석 마스크 및 웨이퍼의 결함을 검사하고 식별합니다. IL-510 은 초당 최대 60,000 개의 이미지 (이미지) 로 접촉 및 그림자 마스크에 대한 고속 광 검사를 수행하여 신속한 결함 감지 및 분류 기능을 제공합니다. 콘택트 마스크 (Contact Mask) 의 경우, 이 장치에는 포토 마스크 플랫 필드 포커싱 도구를 사용하여 이미지를 수집하는 완전 자동화 및 프로그래밍 가능한 이미징 머신이 장착되어 있습니다. 이 자산은 신속한 검토/식별 (Review and Identification) 을 위해 설계되었으며, 이미지 품질과 정밀도가 우수하도록 고급 하이라이트 보정을 제공합니다. 또한, 이 모델에는 이미지 노이즈를 줄이고, 배경 간섭을 제거하고, 전반적인 이미지 대비를 개선하는 고급 이미지 처리 기능이 있습니다. 그림자 마스크의 경우, INTELLEMETRICS IL-510에는 1 미크론의 해상도에서 최대 1000X까지 뛰어난 확대를 제공하는 프로그래밍 가능한 줌 (zoom) 광학 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 또한 디지털 자동 이미지 분석기 (digital automated image analyzer), 레이저 라인 조명 장치 (laser line illumination unit) 및 마스크 양쪽의 결함을 검사하기위한 프로그래밍 가능한 균일 한 필드 조명과 같은 기능이 포함됩니다. 또한, IL-510은 고정밀 정렬 및 계산 시스템을 사용하여 다양한 유형의 결함을 인식하고 평가합니다. 이 기계는 0.01 미크론까지 정확도로 임의의 결함, 막힘, 핀홀, 피크 및 NTF 패터를 식별 할 수 있습니다. 또한, INTELLEMETRICS IL-510에는 스캔 된 웨이퍼의 정확한 정렬을위한 고정밀 fiducial 도구가 장착되어 있습니다. IL-510은 SEMI M1/M2 및 ESD 표준과 같은 업계 요구 사항을 준수합니다. 통합 웨이퍼 처리 자산은 인간 개입 없이 최대 1000 개의 웨이퍼를 검사, 교정합니다. 이 모델은 기존 석판화 장비 (lithography equipment) 및 프로세스 제어 시스템과 통합되어 석판화 마스크 및 웨이퍼를 정확하고 안정적으로 측정 할 수 있습니다. 전반적으로 INTELLEMETRICS IL-510은 완전한 자동화, 고속, 고해상도 마스크 및 웨이퍼 검사 장비를 제공하여 생산성을 극대화하고 제품의 품질을 보장합니다.