판매용 중고 INTEK PLUS IPIS-300 #9148604
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INTEK PLUS IPIS-300 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 반도체 제조 공정을 위한 고급 도구입니다. 이 제품은 제조 과정에서 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 제품을 검사하기 위한 고속, 고해상도 플랫폼을 제공합니다. 이 시스템은 완전히 자동화되었으며, CCD 카메라 배열을 사용하여 마스크, 웨이퍼, 사망을 빠르고 정확하게 검사합니다. IPIS-300은 스토리당 5 미크론 이상의 이미지를 캡처하는 1.2 메가 픽셀 CCD 카메라 어레이를 제공합니다. 이 고해상도를 통해 단위는 하위 패턴 (sub-pattern) 을 평가할 수 있으며, 이를 통해 눈에 띄지 않을 수 있는 가장 작은 결함까지도 감지할 수 있습니다. 이 기계는 또한 3 개의 각도를 따라 회전하고 캡처하고 수평/수직 정렬로 이동할 수있는 5 축 도량형 드라이브 (5 축) 를 갖추고 있으며, 이는 마스크와 웨이퍼 제품에 대한 더욱 심도 있는 분석을 제공합니다. INTEK PLUS IPIS-300은 스팟/라인 검사, 최소 기능 감지, 결함 검토 등 다양한 검사 기능과 기능을 제공합니다. 도구의 노이즈 감소 (noise reduction) 알고리즘은 잘못된 경보를 식별하고 웨이퍼 또는 마스크 제품의 노이즈를 줄이는 데 도움이 될 수 있습니다. 또한, 자산은 포커스, 차트, 오버랩과 같은 웨이퍼의 중요한 매개변수를 평가할 수 있습니다. 또한 IPIS-300은 웨이퍼 및 마스크 검사 프로세스를 간소화하는 전용 소프트웨어 제품군도 제공합니다. 사용자는 이 소프트웨어를 사용하여 신속하게 모델을 설정하고, 이미지를 캡처하고, 상세한 보고서를 생성할 수 있습니다. 또한 결함 분류 (Defect Classification), 크기 조정 (Sizing), 적용 범위 (Coverage) 등 다양한 분석 옵션과 나중에 작업할 수 있도록 매개변수 설정을 저장할 수 있는 기능을 제공합니다. 전반적으로 INTEK PLUS IPIS-300은 고해상도, 자동 마스크 및 웨이퍼 제품 검사를 제공하는 고급 장비입니다. 1.2 메가 픽셀 (Megapixel) CCD 카메라 어레이, 고해상도 이미징, 소음 감소 알고리즘, 전용 소프트웨어 제품군을 갖춘 이 시스템은 가장 작은 결함까지도 감지할 수 있으며, 사용자가 더 큰 정확도와 속도로 웨이퍼, 마스크 제품을 검사할 수 있습니다.
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