판매용 중고 ICOS WI-2000 #9215635

ICOS WI-2000은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 자동 장비입니다. 첨단 이미징 (advanced imaging) 광학, 정확한 모션 제어, 고급 조명 기술을 사용하여 가장 까다로운 운영 환경에서 최적의 성능을 제공합니다. 시스템은 고유한 200mm 활성 필드 정렬 단계로 구성됩니다. 이렇게 하면 검사하는 동안 마스크나 웨이퍼를 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 스테이지 (stage) 는 고속 검사를 위해 위아래로 이동하여 최적의 이미징 조건을 제공합니다. WI-2000에는 두 가지 유형의 조명 시스템 (UV 및 가시) 이 장착되어 있습니다. 두 조명 시스템 모두 다양한 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 표면 구조를 검사하는 데 탁월한 성능을 제공합니다. UV 광원은 패턴 또는 레이아웃의 변화를 감지하기위한 높은 명암의 조명을 제공합니다. 가시 광원은 불투명 기판을 검사 할 때 더 큰 감지 감도를 허용합니다. ICOS WI-2000의 이미징 광학 및 모션 제어 기술은 나노 미터 해상도 (nanometer resolution) 를 제공하여 나노 미터 수준까지 마스크 기능을 검사합니다. 이 장치는 비접촉, 고해상도 (최대 2 m 픽셀 피치) 이미징으로 표면 패턴과 결함 정보를 정확하게 캡처합니다. 이 첨단 이미징 기술은 또한 한 번에 최대 3 개의 웨이퍼를 이미징할 수 있으며, 데이터 수집은 기존 검사 시스템보다 최대 20 배 빠릅니다. WI-2000은 +/- 10mm 범위의 고정밀 전동 Z축을 특징으로하여 샘플 무결성을 향상시키고 정렬 중 샘플 마찰을 줄일 수 있습니다. 사용자는 고해상도와 저해상도의 두 가지 이미징 해상도 중에서 선택할 수 있습니다. 저해상도 이미징 모드를 사용하면 ICOS WI-2000 (WI-2000) 은 정확성을 그대로 유지하면서 빠른 속도로 복잡한 레이아웃으로 웨이퍼와 마스크를 검사할 수 있습니다. WI-2000 (WI-2000) 은 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스로 구동되는 자동화된 머신으로, 다양한 검사 목표를 쉽게 작동시키고 수용할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 여러 인터페이스 및 검사 모드를 지원하므로, 사용자가 자산을 특정 검사 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. ICOS WI-2000은 마스크와 웨이퍼를 정확하게 검사하기에 이상적인 모델입니다. 두 개의 조명 시스템, 정밀 전동 Z축 (Motorized Z-Axis) 으로 고해상도 이미지를 신속하게 캡처할 수 있으며, 사용하기 쉽습니다. 이러한 기능을 통해, WI-2000 은 모든 검사 작업의 특정 요구 사항을 충족하고 최적의 결과를 제공할 수 있습니다.