판매용 중고 HSEB AXIOSPECT 300 #9268344
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HSEB AXIOSPECT 300은 패턴 회로에 대한 자동화, 정확하고 효율적인 광 검사를 제공하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 다양한 광학, 조명 소스, 이미지 처리 알고리즘, 제어 소프트웨어 (모두 결합) 가 포함되어 다양한 수준에서 회로 패턴을 빠르고 정확하고 효율적으로 분석합니다. 특히, AXIOSPECT 300은 최대 300mm 크기의 마스크를 검사하고 최대 200mm 직경을 웨이퍼하도록 설계되었습니다. 이 장치는 결함 검사, 실패 분석, 조건 분석, 확인, 수리 및 기타 관련 활동을 포함한 여러 검사 작업을 수행 할 수 있습니다. 광범위한 검사 작업을 지원하기 위해 HSEB AXIOSPECT 300 (HSEB AXIOSPECT 300) 에는 뛰어난 화질을 자랑하는 고해상도 이미징이 가능한 특화된 옵틱 및 렌즈 어레이가 장착되어 있습니다. 이러한 광학에는 투명 및 입사 부스트 광학, 편광 및 방위 광원, 스펙트럼 광원, 필터 요소 배열, 다양한 이미지 스캔 및 필터링 작업이 포함됩니다. 이러한 Optic 은 AXIOSPECT 300 의 검사 작업을 지원하는 다양한 이미징 기능을 제공합니다. 입사 광학 장치 (Incident Optics) 는 대용량 이미징을 가능하게 하여 기계가 패턴화된 회로의 큰 부분을 한 번에 검사할 수 있습니다. 극성 광원 (polarized-and azimuthal-light source) 은 각 이미징 영역 내에서 작은 결함을 식별하는 데 사용되며, 스펙트럼 광원은 물리적 결함을 자세히 검사 할 수 있습니다. 정확하고 효율적인 검사를 위해, HSEB AXIOSPECT 300에는 정교한 이미지 분석 소프트웨어 및 제어 메커니즘이 장착되어 있습니다. 소프트웨어는 다양한 이미지 처리 알고리즘을 실행하여 결함을 감지, 분화, 정량화하고, 복잡한 패턴을 자동으로 분석할 수 있습니다. 이 툴의 제어 소프트웨어 (Control Software) 는 워크플로우를 간소화하고 향상시켜, 사용자가 지루한 수작업 프로세스를 수행하지 않고도 신속하게 결함을 파악하고 수정할 수 있게 해 줍니다. AXIOSPECT 300 은 포괄적이고 자동화된 검사 자산을 제공하며, 패턴 회로에 대한 빠르고, 정확하고, 효율적인 분석을 제공합니다. 이 모델은 특수 광학 장치, 이미지 처리 알고리즘, 자동 제어 (automated control) 를 결합하여 결함을 빠르고 쉽게 식별하고 수정하여 회로 무결성 및 신뢰성을 향상시키는 데 도움을 줍니다.
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