판매용 중고 HSEB AXIOSPECT 300 #9202569

HSEB AXIOSPECT 300 (HSEB AXIOSPECT 300) 은 반도체 산업의 웨이퍼 마스크 검사에 매우 정확하고 효율적으로 설계된 고속, 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 검사 정확성과 1nm의 반복 성을 갖춘 종합적인 오버레이 및 Critical Dimension (CD) 측정 서비스를 제공합니다. 최대 300 mm의 기판 크기로 높은 생산 처리량을 지원합니다. 시스템은 장치 작동 (예: 사용자 컨트롤, 팁, 표준 측정) 을 쉽게 액세스할 수 있도록 강력한 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있습니다. AXIOSPECT 300에는 나노미터 (nm) 해상도 범위에서 정확한 측정값을 제공하도록 설계된 고급 광학 머신 (advanced optical machine) 이 장착되어 있습니다. 고유한 듀얼 채널 옵티컬 디자인을 사용하여 이미징 (imaging) 모드와 비이미징 (non-imaging) 모드 모두에서 웨이퍼 마스크 이미지를 가져옵니다. 따라서 양적 및 비양적 기능을 모두 평가하는 데 이상적입니다. 이 도구에는 모델의 초점을 자동으로 조정하고 고해상도 이미징 (high resolution imaging) 을 보장하는 자동 초점 에셋 (auto-focus asset) 이 장착되어 있습니다. 또한 고속 웨이퍼 추적 (Wafer Tracking) 장비로 Wafer 정보를 빠르고 편리하게 검색하여 메모리에 저장할 수 있습니다. 이 시스템에는 다양한 마스크 레이어의 패턴을 인식하는 자동 패턴 인식 기능 (Automated Pattern Recognition Capability), 자동 데이터 분석 (Automated Data Analysis) 과 같은 운영 시간을 간소화하는 기능이 포함되어 있어 마스크 정렬의 불일치를 신속하게 파악할 수 있습니다. HSEB AXIOSPECT 300에는 스택 레이어 분석, 결함 분석, 그림 오버레이 및 다중 스펙트럼 이미지 분석 등 자동 조정이 가능한 통합 디지털 INSPECTOR 도구가 있습니다. 이렇게 하면 운영자가 마스크 정렬의 이상을 즉시 진단하고 문제를 해결할 수 있습니다. 품질 보증을 위해, 이 장치에는 강력한 SPC 모니터링 기능이 있으며, 이 기능은 결과의 정확성과 반복성에 대한 실시간 보고서를 생성할 수 있습니다. 데이터를 다양한 파일 형식으로 익스포트하여 다른 소프트웨어 툴과 손쉽게 통합할 수도 있습니다 (영문). 이러한 품질 보증 (Quality Assurance) 기능뿐만 아니라, 기계에는 강력하고 사용하기 쉬운 편집 및 그래프가 장착되어 있으며, 최종 보고서를 표시할 수 있는 차트 생성 기능이 있습니다. 요약하자면, AXIOSPECT 300 은 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계된 고급 검사 툴입니다. 생산 프로세스 간소화, 최고 수준의 품질 보증 (Quality Assurance) 을 보장하는 첨단 기술 기능을 갖추고 있습니다.