판매용 중고 HSEB AXIOSPECT 300 #9200964
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HSEB AXIOSPECT 300은 HSEB가 설계 한 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 옵틱, 이미지 센서, 컴퓨터 비전 기술을 활용하여 자체 조립 된 미세 구조를 검사합니다. 서피스, 피쳐, 결함 측정의 포괄적인 범위를 통해, 이 시스템은 일관되게 안정적인 패턴 결과를 보장합니다. AXIOSPECT 300 (AXIOSPECT 300) 은 두 개의 파장에서 전체 필드 이미지를 동시에 검사할 수 있는 고해상도 장치입니다. 최대 300mm x 300mm 샘플 크기를 수용하는 데 사용되는 스테이지 (자동 초점) 는 다양한 깊이를 다룰 수 있습니다. 이 기계에는 고해상도 5 메가 픽셀 카메라가 포함되어 있으며, 이미지 스티칭 (image-stitching) 과 같은 고급 기능이 제공되며, 이 도구를 사용하여 단일 샷으로 전체 이미지를 캡처할 수 있으며, 자동 기능 인식 (automatic feature recognition) 및 낮은 수준의 결함 검사를 수행할 수 있습니다. HSEB AXIOSPECT 300은 50nm 미만의 결함 또는 패턴 변형을 감지 할 수 있으므로 다양한 미세 구조에 대한 고정밀 검사에 적합합니다. 자산은 또한 비교할 수없는 확대 (× 40,000) 및 신호 대 잡음 비율 > 140dB를 제공합니다. 중요한 정보와 지표 측정 (metric measurement) 을 제공하여 결함 분석 및 재료 도량형에 이상적입니다. AXIOSPECT 300 은 패턴 균일성을 확인하고, 생산량을 검사하고, 설계 또는 제조 문제를 식별하는 효율적인 방법을 제공합니다. 모듈식 (modular) 레이아웃으로 유연하고 사용자 친화적으로 설계되었으며, 사용자는 해당 모델을 애플리케이션에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 장비의 직관적인 인터페이스를 통해 고급 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 전반적으로, HSEB AXIOSPECT 300은 가장 작은 구조를 검사할 수있는 비용 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템을 제공합니다. 고급 기능 (Advanced Features) 과 기능을 통해 패턴 설계의 잠재적 결함 또는 이상을 파악하고 수정할 수 있습니다. 이는 제조 수익률을 향상시키고 안정적이고 일관된 결과를 보장합니다.
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