판매용 중고 HORIBA PR-PD2 #293751087

HORIBA PR-PD2는 처리량, 정확성 및 추적 가능성을 높이기 위해 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 결합된 뛰어난 이미지 품질 (Image Quality) 및 결함 감지 기능을 제공합니다. 이 시스템은 새롭게 개발 된 주사 전자 빔 (SEM) 기술을 갖추고 있으며, 균일성은 ± 3% 로 빛에서 어둡게 웨이퍼를 스캔 할 수 있습니다. 3.2 GHz (scan speed) 로, 최대 1000 웨이퍼/시간까지 스캔할 수 있으며, 검사 시간이 단축되어 처리량이 향상됩니다. 자동 결함 분석의 경우, 이 장치는 결함을 정확하게 인식하고 문제를 식별하는 고급 알고리즘을 사용합니다. X-ray (X-ray) 를 사용한 자동 칩 인식 (automated chip recognition) 기능을 통해 웨이퍼 뒷면의 오염을 감지하고 프로세스 수익률 분석을 수행할 수 있습니다. '패턴 감지 창 비교 (Pattern Sense Window Comparison)' 기능을 사용하여 머신은 유사한 패턴의 데이터 (예: 다른 위치에서 동일한 크기 및 방향) 를 분석할 수 있습니다. 따라서 현장에서 성능이 향상됩니다. 이 도구에는 산란 측량 분석을 안내하는 3D 프로파일 (3D-profiling) 기능이 장착되어 표면 불규칙성 및 기타 결함을 식별합니다. 산화물 및 질화물에 대한 자동 반사도 (automated reflectivity) 모드는 복잡한 박막 층의 평가를 지원합니다. 포괄적인 소프트웨어 패키지는 결함 분류, 정렬, 검사 관리, 데이터 마이닝 등 다양한 작업을 손쉽게 완료하는 데 필요한 모든 기능을 제공합니다 (영문). 이 소프트웨어는 4 비트 데이터 구조에 대한 종합적인 분석을 제공하기 위해 특별히 설계되었으며, 다른 소스의 이미지를 비교할 수 있습니다. HORIBA PR-PD 2 (HORIBA PR-PD 2) 는 제조업체에 장치 마스크를 검사하고 다양한 응용 프로그램에서 결함을 감지하는 데 필요한 기능을 제공합니다. 자동화된 웨이퍼 검사에 이상적인 툴로서, 제조업체가 효율성을 극대화하고 비용을 절감할 수 있도록 지원합니다.