판매용 중고 HORIBA PR-PD2 #293747971

HORIBA PR-PD2
ID: 293747971
Reticle inspection system.
HORIBA PR-PD2는 고급 반도체 장치의 안정적인 품질 제어 및 결함 분석을 제공하는 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장비입니다. 이 시스템은 브라이트필드 (brightfield) 와 다크필드 (darkfield) 옵틱을 조합하여 최대 1.9äm 해상도의 마스크 및 웨이퍼를 이미지화하며, 최대 94% 의 결함 감지율 및 광범위한 마스크, 웨이퍼 및 기판과의 호환성을 제공합니다. 다크필드 (darkfield) 와 브라이트필드 (brightfield) 시스템은 모두 고급형 옵틱과 효율적인 일광 램프를 활용하여 정확하고 정확한 이미지를 제공합니다. HORIBA PR-PD 2에는 다양한 유형의 결함을 신속하게 감지하는 자동 결함 감지 장치가 있습니다. 입자 분석, 웨이퍼 맵 검사, 기하학적 패턴 매칭 등 다양한 분석 도구와 피쳐 세트를 사용할 수 있습니다. 입자 분석 기능 세트를 사용하여 PR-PD2는 4, 5, 6 미크론 크기의 웨이퍼 및 마스크에서 입자를 감지 할 수 있습니다. 웨이퍼 맵 검사 기능 (wafer map inspection feature) 은 웨이퍼 맵을 자동으로 분석하여 어둡거나 밝은 입자로 인한 불완전한 패턴 또는 교란을 감지 할 수 있습니다. 마지막으로, 기하학적 패턴 일치 (geometrical pattern matching) 기능을 통해 자동 패턴 매칭이 가능하므로 수동 검토가 필요 없고 정확도가 향상됩니다. PR-PD 2 에는 직렬 포트, 네트워크 포트, GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 등 다양한 인터페이스가 함께 제공되므로 기존 검사 프로세스에 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한, 시스템 (검사 설정에 따라) 을 전용 서버 또는 공유 서버에서 실행하도록 구성할 수 있습니다. 도구 소프트웨어는 모든 운영 자산에 설치하고 PC에서 제어하여 손쉬운 운영 및 데이터 공유 (data sharing) 기능을 제공합니다. 또한 HORIBA PR-PD2 는 강력한 원격 제어 옵션을 제공하므로 인터넷 연결을 통해 PC 또는 노트북의 모델을 제어할 수 있습니다. HORIBA PR-PD 2는 SEMI, JEDEC 및 JIS를 포함한 다양한 산업 표준을 준수하는 인증을 받았습니다. 이 장비는 정확한 표준, 신뢰성 보장, 검사 및 품질 관리 프로세스 (Quality Control process) 를 위해 설계 및 제작되었습니다. 전반적으로, PR-PD2는 우수한 결함 감지 속도, 다양한 마스크, 웨이퍼, 기판과의 호환성, 다양한 기능 세트 및 분석 도구를 갖춘 자동화된 결함 감지 (automated defect detection) 기능을 제공하는 고급적이고 안정적인 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 장치는 기존 프로세스와 손쉽게 통합될 수 있으며, 인터넷 접속을 통해 PC 또는 노트북을 통해 제어할 수 있으며, 반도체 제조업체가 제품의 품질을 보장하고자 하는 최적의 선택입니다 (영문).
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