판매용 중고 HOLOGENIX NGS 3500L #50090
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ID: 50090
웨이퍼 크기: 8"
Advanced dimensional metrology and defect detection system, up to 8"
Maximum stage load capacity 50lbs
10 inches per second staging speed
Brightfield / darkfield with optional Nomarski
Granite base and Z column
Closed loop linear stages with position feedback
0.05u resolution linear glass encoders
Software: RMS Vision Systems
NIKON microscope with motorized objective rotation
Tilting ultrawide trinocular viewing head
10x eyepieces
Hitachi CCTV
Windows XP.
HOLOGENIX NGS 3500L은 높은 정확성과 반복 성을 위해 설계된 완전 자동화 된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크, 웨이퍼 제작, 집적 회로 생산, 반도체 장치 테스트 등 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 고해상도 마스크 또는 웨이퍼 기반 제품을 빠르고 정확하게 검사할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 장치는 고급 광학을 활용하는 최첨단 웨이퍼 검사 메커니즘과 레이저 광원 (laser light source) 을 사용하여 정확한 검사를 수행합니다. 이 기계는 세 가지 주요 영역 (다이 투 다이 어셈블리 정밀도, 패키지 누수 및 다이 높이 일관성) 에서 검사를 수행합니다. 고해상도 (50 m) 이미지를 제작할 수 있어, 고려중인 제품 중 가장 훌륭한 구조를 감지 할 수 있습니다. 이 제품은 정교한 3D 이미징 기능을 제공하여 여러 계층의 제품을 비교하고 마모, 오염, 손상을 신중하게 평가합니다. 이 도구에는 반도체 업계 품질 표준을 충족하는 품질 제어 모듈 (Quality Control Module) 이 장착되어 있습니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 필요에 따라 신속하게 검사 매개변수를 설정하고 구성할 수 있습니다. 또한 빠른 스텝 배치 인코딩 (Quickstep Batch Encoding) 과 빠른 스캔 (Fast Scan) 을 통해 분 단위로 전체 웨이퍼를 검사할 수 있습니다. 자산에는 고급 패턴 인식 (pattern recognition) 기술과 지능형 패스/장애 기준 (pass/fail criteria) 이 포함되어 있어 결과의 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 유연하고 신뢰할 수 있으며, 다운타임을 최소화하면서 여러 소스/위치에서 제품을 검사할 수 있습니다. 신속한 오류 감지 및 자동 수정 작업을 지원합니다. NGS 3500L 모델에는 포괄적인 기술 지원 및 사용자 친화적인 설치 프로세스가 포함되어 있어, 적절한 구성과 신속한 구축이 가능합니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 검사 를 위해 고성능 및 견고 한 "시스템 '을 추구 하는" 반도체' 제조업자 들 에게 이상적 인 선택 이 된다.
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