판매용 중고 HOLOGENIX NGS 3500 #9137097
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ID: 9137097
Advanced dimensional metrology and defect detection system, 8"
Motorized stage with 8"x8" XY travel
Motorized Z travel
Brightfield and darkfield inspection
(5-100) defects/measurements per second typical
200mm/s staging speed
Software controlled coaxial and backlight
Maximum stage load capacity 50lbs
Granite base and Z column
Closed loop linear stages with position feedback
0.05u resolution linear glass encoder
Software: RMS Vision Systems with color graphics, image archiving, and offline review of defects
Nikon microscope with motorized objective rotation
Tilting ultrawide trinocular viewing head with 10x eyepieces
Hitachi CCTV, Windows XP.
HOLOGENIX NGS 3500은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 잠재적 결함을 감지하고 품질 제어를 향상시키도록 설계되었습니다. 주요 기능은 반도체 제작 프로세스의 품질 보증을 촉진하는 것입니다. 이 시스템은 고급 옵틱스 (Optic) 를 활용하여 검출의 정확성과 속도를 향상시켜 품질 보증 (Quality Assurance) 팀이 프로세스 설계 또는 프로덕션 실행에서 잠재적인 결함을 신속하게 파악할 수 있습니다. NGS 3500은 안정화된 빔 스플리터 (Beam Splitter) 및 디지털 줌 렌즈를 사용하여 상세한 고품질 이미징을 제공합니다. 대물렌즈 (objective lens) 는 패턴 재료의 미세한 결함을 확대하는 데 사용되며, 이 장치는 150X에서 500X까지의 조절 가능한 배율을 제공 할 수 있습니다. 내장 조명기는 샘플을 다양한 각도로 비추며, 복잡한 조명 조건에서 결함 감지를 가능하게 합니다. 이 도구의 실시간 3D 이미징은 서로 다른 깊이에서 찍은 일련의 이미지를 결합하여 3 차원 이미지를 생성함으로써 정확하게 구성됩니다. 이 제품은 사용자가 수동으로 여러 이미지를 보간할 필요가 없습니다. 그 결과, 검사 시간 이 현저 히 단축 될 수 있으며, 자산 은 거시적· 미시적 수준 의 결함 을 모두 감지 할 수 있다. HOLOGENIX NGS 3500은 사용자 친화적 인 운영 인터페이스 (Operating Interface) 를 갖추고 있어, 긴 교육 세션이나 운영자의 수작업이 필요 없습니다. 이 제품은 단일 모델에 이미지 수집 (Image Acquisition) 및 분석 (Analysis) 기능을 결합하여 대용량 데이터를 신속하게 처리할 수 있습니다. 또한, 마스크 및 웨이퍼 표면 조건의 추세와 변화를 감지하는 경고 기능을 제공합니다. NGS 3500은 매우 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장비로, 결함을 감지할 뿐만 아니라 품질 제어를 향상시킵니다. 이 시스템은 통합된 기능 덕분에, 검사 시간을 줄이고, 반도체 업계의 프로세스 효율을 높일 수 있습니다.
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