판매용 중고 HMI eScan 380 #293741086

ID: 293741086
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
E-Beam inspection system, 12" 2006 vintage.
HMI eScan 380은 반도체 산업을 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 최첨단 장비는 고해상도 이미징 기술과 지능형 소프트웨어 알고리즘을 결합하여 반도체 제조 공정에 사용되는 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 에 대한 종합적인 검사 기능을 제공합니다. 이 시스템은 컴팩트하고 견고한 디자인으로, 정확성과 신뢰성이 가장 중요한 클린 룸 (cleanroom) 환경에 적합합니다. eScan 380 유닛의 중심에는 여러 광원, 탐지기, 광학을 활용하여 마스크와 웨이퍼의 고해상도 이미징을 구현하는 정교한 이미징 머신이 있습니다. 이 도구는 서브 마이크론 해상도 (sub-micron resolution) 로 이미지를 캡처하여 칩 성능 및 생산에 영향을 줄 수있는 가장 작은 결함 또는 오염 물질을 감지 할 수 있습니다. 이 자산의 고해상도 이미징 (High-resolution Imaging) 기능은 캡처된 이미지를 실시간으로 분석하는 고급 이미지 처리 알고리즘으로 더욱 향상되어 결함 및 비정상을 파악할 수 있으며, 이는 매우 정확합니다. HMI eScan 380 모델은 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 프로세스 (wafer inspection process) 요구 사항을 충족하는 다양한 검사 모드를 제공합니다. 여기에는 밝은 필드, 어두운 필드 및 DIC (differential interference contrast) 이미징 모드, 각각의 특정 검사 작업 및 결함 유형에 맞게 조정됩니다. 일반적인 결함 검출에는 밝은 필드 이미징 (Bright Field Imaging) 이 사용되고 반사 표면에서 미묘한 결함을 검출하는 데 이상적인 반면, 다크 필드 이미징 (Dark Field Imaging) 이 사용됩니다. 반면, DIC 이미징은 투명 또는 저대비 재료의 결함을 감지하기 위해 향상된 대비를 제공합니다. 이 장비는 자동 스캐닝 (Scanning) 기능도 갖추고 있으며, 넓은 마스크 및 웨이퍼 영역을 효율적이고 정확하게 검사할 수 있습니다. 자동 스캐닝 (automated scanning) 프로세스는 속도, 해상도, 초점 등의 스캔 매개변수를 최적화하여 검사 시간을 최소화하면서 철저한 검사 범위를 보장하는 지능형 소프트웨어 알고리즘으로 제어됩니다. 이 자동화는 검사 처리량을 높일 뿐만 아니라 인적 오류 (human error) 를 줄여 일관되고 안정적인 검사 결과를 보장합니다. eScan 380 시스템은 이미징 (imaging) 및 스캐닝 기능 외에도 포괄적인 결함 분류 및 분석 기능을 제공하여 사용자가 검사 중에 감지된 결함을 파악하고 분류할 수 있습니다. 이 장치의 소프트웨어에는 결함 유형과 특성이 미리 정의된 기본 (BIST) 결함 라이브러리가 포함되어 있으며, 형태 학적 기능에 따라 결함을 자동으로 분류할 수 있습니다. 사용자는 결함을 수동으로 분류하고 주석을 달아 추가 분석 및 특성화에 용이하게 할 수도 있습니다. 검사 기능을 더욱 향상시키기 위해 HMI eScan 380 머신에는 고급 조명 (Lighting) 및 필터링 (Filtering) 옵션이 장착되어 다양한 유형의 샘플과 결함에 대한 이미지 명암과 품질을 최적화합니다. 이 도구의 조명 에셋에는 가변 강도 및 파장 설정을 가진 조정 가능한 LED 광원이 포함되어 있으므로 특정 검사 작업에 대한 조명 조건을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 특정 파장의 빛을 선택적으로 차단하거나 전송하여 이미지 대비를 강화하고 마스크와 웨이퍼의 특정 기능을 강조하는 통합 필터 (integrated filter) 를 특징으로합니다. 전반적으로, eScan 380은 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 탁월한 이미지 품질, 고급 자동화, 종합적인 결함 분석 기능을 제공합니다. HMI eScan 380 은 고해상도 이미징 기술, 지능형 소프트웨어 알고리즘, 다목적 검사 모드를 통해, 고성능 집적회로 생산에서 마스크, 웨이퍼의 품질과 신뢰성을 보장하고자 하는 반도체 제조업체에게는 없어서는 안 될 도구입니다.
아직 리뷰가 없습니다